(КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2024) Кондрахін, М. В.; Гільчук, А. В.
У даній статті був проведений літературний огляд та аналіз вирощування тонких плівок кремнію методом хімічного осадження з газової фази (ХОГФ) за низького тиску з дихлорсилану (ДХС). Розглянуто, як працює метод ХОГФ, а також показана модель обрахунку швидкості росту кремнію за допомогою дихлорсилану й можливість удосконалення цієї моделі.