Запропоновано математичну модель процесу генерації випромінювання імпульсних рентгенівських апаратів сконструйованих на основі трубок з рефлекторним та трансмісійним анодами. Розглянуто особливості формування енергетичних спектрів імпульсних трубок обох типів та перетворення цих спектрів під час проходження крізь тонкі зразки напівпровідникових матеріалів. На основі моделі імпульсного анодного струму та напруги отримані форми імпульсів рентгенівського випромінювання. Розраховані залежності поглиненої досліджуваними напівпровідниковими зразками частини випромінювання від амплітуди прискорювальної напруги імпульсних джерел двох конструкцій. Визначено вплив на характеристики рентгенівського випромінювання таких двох факторів, як імпульсний характер роботи та особливості конструкції імпульсних трубок.