В роботі за допомогою РЕМ-досліджень вивчалася морфологія поверхні мікроструктурованих шарів пористого кремнію. одержаних хімічним способом. Конфігурація пір, їх розміри та кількість залежать, від типу, орієнтації та рівня легування основи. За наявності більшого кількості дефектів (низькоомні та неполіровані підкладки) пори вузькі (до 100 нм) та Довгі (до 10 мкм). Круглі пори діаметром до 1 мкм утворюються на полірованих і. високоомні підкладки. Товщина комірчастого шару залежить від часу травлення.