Розробка нових функціональних електронних компонентів на основі твердотільних електромеханічних систем із швидкісним п'єзоелектричним управлінням
Ескіз недоступний
Дата
2008
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Анотація
Об’єкт дослідження – технологія та характеристики актюаторів на основі твердотільних електромеханічних систем зі збудженням об’ємних резонансних механічних коливань.
Мета роботи: розробка швидкодіючих високодобротних п’єзоелектричних актюаторів для фукціональних електронних компонентів систем телекомунікацій. Розробка призначена для відпрацювання конструкції та технології п’єзоелектричного актюатора, інтегрованого в керований діелектричний резонатор та фазообертач на основі мікрополоскової лінії і хвилеводної конструкції. Розроблений технологічний маршрут виготовлення тонкоплівкового нітриду алюмінія з п’єзоелектричними властивостями на підкладці з кремнія для реалізації металокерамічних актюаторів на основі метода магнетронного реактивного розпилення на постійному струмі. Проведені дослiдження способів включення резонансних елементів в iнтегральнi лiнiї передачi НВЧ. Відпрацьовано керування характеристиками резонансних елементiв у хвилеводі з частковим діелектричним заповненням та конструкція керованого діелектричного резонатора з вузьким повітряним зазором, величина якого змінюється за допомогою п’єзоактюатора. Запропоновані та проаналізовані конструкції композитних п’єзоелектричних актюаторів для отримання значних переміщень з високою швидкістю. Створені конструкції п’єзоприводів для мікрохвильових елементів мають менші розміри, ширший діапазон робочих частот та нижчу вартість за рахунок застосування стандартних мікроелектронних технологій та спрощення операцій настроювання.
Отримані результати рекомендовано використовувати при розробці твердотільних резонаторів і актюаторів мікроелектромеханічних систем в сучасному приладобудуванні, особливо мікроелектронному, при мініатюризації електронних компонентів.
Опис
Ключові слова
діелектрик, п'єзоелектрик, нітрид алюмінія, резонатор, електромеханічні характеристики, актюатор, керування, магнетронне реактивне розпилення
Бібліографічний опис
Розробка нових функціональних електронних компонентів на основі твердотільних електромеханічних систем із швидкісним п'єзоелектричним управлінням : звіт про НДР (заключ.) / НТУУ "КПІ" ; кер. роб. Ю. Якименко. - К., 2008. - 129 л. + CD-ROM. - Д/б №2963-п