Вирощування тонких плівок кремнію з дихлорсилану (SiH2Cl2 ) методом хімічного осадження з газової фази (ХОГФ) за низького тиску

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКондрахін, М. В.
dc.contributor.authorГільчук, А. В.
dc.date.accessioned2024-05-30T13:32:35Z
dc.date.available2024-05-30T13:32:35Z
dc.date.issued2024
dc.description.abstractУ даній статті був проведений літературний огляд та аналіз вирощування тонких плівок кремнію методом хімічного осадження з газової фази (ХОГФ) за низького тиску з дихлорсилану (ДХС). Розглянуто, як працює метод ХОГФ, а також показана модель обрахунку швидкості росту кремнію за допомогою дихлорсилану й можливість удосконалення цієї моделі.
dc.format.pagerangeС. 25-28
dc.identifier.citationКондрахін, М. В. Вирощування тонких плівок кремнію з дихлорсилану (SiH2Cl2 ) методом хімічного осадження з газової фази (ХОГФ) за низького тиску / М. В. Кондрахін, А. В. Гільчук // Теоретичні і прикладні проблеми фізики, математики та інформатики : матерiали XXII Всеукраїнської науково-практичної конференцiї студентiв, аспiрантiв та молодих вчених, [Київ], 13−17 травня 2024 р. / КПІ ім. Ігоря Сікорського. – Київ, 2024. – С. 25-28.
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/66981
dc.language.isouk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорського
dc.publisher.placeКиїв
dc.relation.ispartofТеоретичні і прикладні проблеми фізики, математики та інформатики : матерiали XXII Всеукраїнської науково-практичної конференцiї студентiв, аспiрантiв та молодих вчених (13−17 травня 2024 р., м. Київ, Україна)
dc.subjectКремній
dc.subjectХімічне осадження з газової фази
dc.subjectДихлорсилан
dc.subject.udc541.1
dc.titleВирощування тонких плівок кремнію з дихлорсилану (SiH2Cl2 ) методом хімічного осадження з газової фази (ХОГФ) за низького тиску
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Pp-25-28.pdf
Розмір:
546.63 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
8.98 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Секцiя 1. Актуальнi проблеми сучасної фiзики