Морфологія поверхні мікроструктурованого пористого кремнію

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБілик Т. Ю., Т. Ю.
dc.date.accessioned2023-10-06T08:26:22Z
dc.date.available2023-10-06T08:26:22Z
dc.date.issued2011
dc.description.abstractВ роботі за допомогою РЕМ-досліджень вивчалася морфологія поверхні мікроструктурованих шарів пористого кремнію. одержаних хімічним способом. Конфігурація пір, їх розміри та кількість залежать, від типу, орієнтації та рівня легування основи. За наявності більшого кількості дефектів (низькоомні та неполіровані підкладки) пори вузькі (до 100 нм) та Довгі (до 10 мкм). Круглі пори діаметром до 1 мкм утворюються на полірованих і. високоомні підкладки. Товщина комірчастого шару залежить від часу травлення.uk
dc.description.abstractotherIn the paper surface morphology and pore structure of stain etched porous silicon layers depending on wafer type and characteristics are analysed. SEM-microphotography shows that pore’s geometry correlate with defects density on the wafer surface. In the case of high quantity of defects (low-resistance or matt wafers) pores are 10µm long and 100 nm width. On polished and high-resistance wafers pores have circular shape with diameter up to 1 µm. Thickness of porous layer depends on etching time.uk
dc.format.pagerangePp. 49-54uk
dc.identifier.citationБілик, Т. Ю. Морфологія поверхні мікроструктурованого пористого кремнію / Білик Т. Ю. // Электроника и связь : научно-технический журнал. Тематический выпуск «Электроника и нанотехнологии». – 2011. – №3(62). – С. 49-54. – Бібліогр.: 6 назв.uk
dc.identifier.doihttps://doi.org/10.20535/2312-1807.2011.16.3.264283
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/61004
dc.language.isoukuk
dc.publisherНТУУ «КПІ»uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.relation.ispartofЭлектроника и связь: научно-технический журнал, № 3(62)uk
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
dc.subjectпористий кремнійuk
dc.subjectРЕМuk
dc.subjectмікроструктураuk
dc.subjectмакрорельєфuk
dc.subjectхімічне травленняuk
dc.subject.udc621.383uk
dc.titleМорфологія поверхні мікроструктурованого пористого кремніюuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
264283-621380-1-10-20221219.pdf
Розмір:
1.75 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Электроника и связь: научно-технический журнал, № 3(62)