Блок керування установки для експонування фоторезисту

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2019

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Анотація

Опис

Ключові слова

друкована плата, фоторезист, експонування, блок керування, printed circuit board, photoresist, exposure, control unit, печатная плата, экспонирование, блок управления

Бібліографічний опис

Сорокін, Д. А. Блок керування установки для експонування фоторезисту / Сорокін Д. А., Губар В. Г. // Електронна та Акустична Інженерія : науково-технічний журнал. – 2019. – Т. 2, № 2. – С. 26–29. – Бібліогр.: 8 назв.