Применение эластичных гальванических контактов типа «зебра» для измерения удельного сопротивления тонких пленок

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorПасечник, В. А.
dc.contributor.authorБожко, К. М.
dc.date.accessioned2021-03-11T12:39:38Z
dc.date.available2021-03-11T12:39:38Z
dc.date.issued2020-12
dc.description.abstractruАвторами выполнен краткий обзор методов измерения электрических параметров полупроводниковых материалов. Ими был предложен новый вариант метода измерения слоевого сопротивления полупроводников и тонких проводящих пленок на основе применения эластичных гальванических контактов типа «зебра». По сравнению с известными методами, например, четырехзондовым, данный вариант обладает следующими преимуществами: - увеличена площадь контакта, что позволило уменьшить влияние нагрева за счет выделения тепла Джоуля в контактной зоне; - уменьшено давление в 100-1000 раз на поверхность образца в зоне контакта по сравнению с четырехзондовым методом; - отсутствуют геометрические эффекты, при этом отпадает необходимость во введении поправочных коэффициентов при измерениях. Предложенный метод опробован на тонкой пленке (прозрачном электроде ITO) в статическом режиме. Авторы предполагают использовать данный метод в импульсных измерениях и получении вольт-амперных и других характеристик поверхностных слоев и тонких проводящих пленок, включая наноматериалы.uk
dc.format.pagerangeС. 188-191uk
dc.identifier.citationПасечник, В. А. Применение эластичных гальванических контактов типа «зебра» для измерения удельного сопротивления тонких пленок / В. А. Пасечник, К. М. Божко // XVI Всеукраїнська науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Ефективність та автоматизація інженерних рішень у приладобудуванні», 08-09 грудня 2020 року, м. Київ, Україна : збірник праць конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020. – С. 188-191. – Бібліогр.: 5 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/39921
dc.language.isoruuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceXVI Всеукраїнська науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Ефективність та автоматизація інженерних рішень у приладобудуванні», 8-9 грудня 2020 року, м. Київ, Україна : збірник праць конференціїuk
dc.subjectтонкие пленкиuk
dc.subjectанизотропопроводящая резинаuk
dc.subjectслоевое сопротивлениеuk
dc.subjectэластичный гальванический контактuk
dc.subjectчетырехзондовый методuk
dc.subjectпрозрачный электродuk
dc.titleПрименение эластичных гальванических контактов типа «зебра» для измерения удельного сопротивления тонких пленокuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
ЕАІРП_2020 - Page 188-191.pdf
Розмір:
597.65 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Секція 6. Економічні засади аналітичного та екологічного приладобудування