Дослідження електронної складової імпульсного магнетронного розряду
Вантажиться...
Дата
2019
Автори
Бевза, Олег Миколайович
Кузьмичєв, Анатолій Іванович
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
магнетронна розпилювальна система, імпульсний розряд, ударне збудження розряду, енергія електронів, щільність енергії електронів, magnetron sputtering system, pulse discharge, shock excitation of the discharge, electron energy, electron energy density, магнетронного распылительная система, импульсный разряд, ударное возбуждение разряда, энергия электронов, плотность энергии электронов
Бібліографічний опис
Бевза, О. М. Дослідження електронної складової імпульсного магнетронного розряду / Бевза О. М., Кузьмичєв А. І. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2019. – Т. 24, № 6(113). – С. 6–16. – Бібліогр.: 13 назв.