Аналіз технології отримання вуглецевих плівок

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЗелінський, Дмитро Володимирович
dc.contributor.authorСемікіна, Тетяна Вікторівна
dc.date.accessioned2020-12-01T09:35:34Z
dc.date.available2020-12-01T09:35:34Z
dc.date.issued2019-04-04
dc.description.abstractruВ работе сделан обзор трех технологических методов, которые применяются для получения алмазоподобных углеродных пленок (АУП). Приведены технологические параметры методов магнетронного и лазерного распыления, а также метода газотранспортных реакций, изменение которых позволяет регулировать характеристики осаждаемых пленок.uk
dc.description.abstractukВ роботі зроблено огляд трьох технологічних методів, котрі застосовуються для отримання алмазоподібних вуглецевих плівок (АВП). Наведено технологічні параметри методів магнетронного та лазерного розпилення, а також метода газотранспортних реакцій, зміна яких дозволяє регулювати характеристики осаджуваних плівок.uk
dc.format.pagerangeС. 112-120uk
dc.identifier.citationЗелінський, Д. В. Аналіз технології отримання вуглецевих плівок / Зелінський Д. В., Семікіна Т. В. // Перспективні напрямки сучасної електроніки : матеріали XІІІ науково-практичної конференції (4 квітня 2019 р., м. Київ) / КПІ ім. Ігоря Сікорського, ФЕЛ. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – С. 112-120. – Бібліогр.: 4 назви.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/37772
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceМатеріали XІІІ-ї науково-практичної конференції «Перспективні напрямки сучасної електроніки», КПІ ім. Ігоря Сікорського, ФЕЛ, 4 квітня 2019 р.uk
dc.subjectалмазоподібні вуглецеві плівкиuk
dc.subjectмагнетронне розпиленняuk
dc.subjectлазерне розпиленняuk
dc.subjectгазотранспортні реакціїuk
dc.subjectCVDuk
dc.subject.udc621uk
dc.titleАналіз технології отримання вуглецевих плівокuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2019-112-120.pdf
Розмір:
501.72 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
8.98 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Матеріали конференції