Твердотільні реакції в плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/ Ti(10 нм)/ SiO2(370 нм) на монокристалічному кремнії (001)
Вантажиться...
Дата
2009
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПІ»
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Твердотільні реакції в плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/ Ti(10 нм)/ SiO2(370 нм) на монокристалічному кремнії (001) / Ю. М. Макогон, С. І. Сидоренко, О. П. Павлова, Т. І. Вербицька // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : міжнародний науково-технічний журнал. – 2009. – № 6(68). – С. 98–103. – Бібліогр.: 10 назв.