Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2021

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Анотація

Опис

Ключові слова

МДН-структура, критерій вибору діелектрика, high-k, діелектрик, питома ємність заслону, ефективний заряд в діелектрику, щільність поверхневих станів, міжвузловий аспект кристалічної решітки, MIS structure, insulator choosing criterion, high-k dielectric, specific gate capacitance, effective charge in the dielectric, surface charge density, interstitial aspect of crystalline lattice, МДП-структура, критерий выбора диэлектрика, диэлектрик, удельная емкость затвора, эффективный заряд в диэлектрике, плотность поверхностных состояний, межузловой аспект кристаллической решетки

Бібліографічний опис

Королевич, Л. М. Обґрунтування вибору діелектрика та дослідження плівок діоксиду церію для МДН-структур : автореф. дис. … канд. техн. наук : 05.27.01 - твердотільна електроніка / Королевич Любомир Миколайович. – Київ, 2021. – 42 с.

DOI