Низькотемпературна технологiя отримання прозорих плiвок IТО з високою провiднiстю

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorВасiльєв, В.
dc.contributor.authorТурко, Б.
dc.contributor.authorГрицак, Л.
dc.contributor.authorРудко, М.
dc.contributor.authorШвець, Н.
dc.date.accessioned2023-03-10T09:53:03Z
dc.date.available2023-03-10T09:53:03Z
dc.date.issued2022
dc.description.abstractukДослiджено вплив низькотемпературного вiдпалу (до 150∘C) та опромiнення свiтлом вiд кварцової ртутної лампи (протягом часу до 20 хв) на структурнi, оптичнi та електричнi властивостi плiвок IТО товщиною 0, 8 мкм, осаджених методом ВЧ-магнетронного розпилення на оптично прозорi склянi пiдкладки, без пiдiгрiву. Встановлено, що низькотемпературний вiдпал протягом однiєї години та короткотривале опромiнення свiтлом кварцової ртутної лампи приводять до зростання середнiх розмiрiв кристалiтiв, середньо-квадратичної шорсткостi поверхнi, зменшення величини питомого електроопору плiвок IТО, а також до пiдвищення оптичної прозоростi, i вiдповiдно, пониження величини коефiцiєнта вiдбивання у видимому дiапазонi спектру. Наведенi результати можуть будуть корисними в iнженерiї електронних пристроїв на основi матерiалiв з низькою термостiйкiстю.uk
dc.format.pagerangeС. 21-25uk
dc.identifier.citationНизькотемпературна технологiя отримання прозорих плiвок IТО з високою провiднiстю / В. Васiльєв, Б. Турко, Л. Грицак, М. Рудко, Н. Швець // XIX Всеукраїнська науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Теоретичні і прикладні проблеми фізики, математики та інформатики» (Україна, м. Київ, 15 червня 2022 р.) : матеріали конференції. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022. – С. 21-25. – Бібліогр.: 30 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/53546
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceXX Всеукраїнська науково-практична конференція студентів, аспірантів та молодих вчених «Теоретичні і прикладні проблеми фізики, математики та інформатики» (Україна, м. Київ, 15 червня 2022 р.) : матеріали конференціїuk
dc.subjectiндiю-олова оксидuk
dc.subjectтонкi плiвкиuk
dc.subjectспектри поглинанняuk
dc.subjectспектри вiдбиванняuk
dc.subjectкристалiчна структураuk
dc.subjectелектроопiрuk
dc.titleНизькотемпературна технологiя отримання прозорих плiвок IТО з високою провiднiстюuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
(21-25)_Vasiliev.pdf
Розмір:
867.52 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.1 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Секція. Актуальнi проблеми сучасної фiзики