Джерела нетермічної плазми атмосферного тиску та їх застосування
| dc.contributor.author | Чаплинський, Роман Юрійович | |
| dc.contributor.degreedepartment | електронних приладів та пристроїв | uk |
| dc.contributor.degreefaculty | електроніки | uk |
| dc.contributor.degreegrantor | Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут" | uk |
| dc.date.accessioned | 2015-11-19T13:40:53Z | |
| dc.date.available | 2015-11-19T13:40:53Z | |
| dc.date.issued | 2015 | |
| dc.description.abstracten | The dissertation examined discharge sources of nonthermal plasma at atmospheric pressure and their use for the generation of ozone, carbon monoxide neutralization, in liquid crystal display technology and nanosphere lithography. It has been shown that sources on the base of RF barrier discharge with a three-electrode system are desirable to produce nonthermal plasma at atmospheric pressure. It was theoretically established that near-electrode space-charge layers in low-current mode of argon barrier RF discharge at atmospheric pressure are thicker than in an argon RF discharge with bare metal electrodes. It was established theoretically and experimentally that during transition between low current and high current modes of the RF discharge in argon at atmospheric pressure the structures, typical for both the low-current and high-current regimes, locally coexist. The fundamental electrical characteristics of the RF barrier discharge were measured in wide range of currents and voltages. It was experimentally found that treatment of polyimide films by the flat plasma flow from RF argon discharge at atmospheric pressure induces orientation of nematic liquid crystals and reactive mesogens and reduces size of the polypropylene nanospheres in nanosphear lithography. As a result of work, the algorithm for calculation of electrical characteristics of the RF argon barrier discharge, sources of nonequilibrium plasma at atmospheric pressure, based on a three-electrode RF barrier discharge, low-frequency multi-corona, planar and volumetric barrier discharges were created. | uk |
| dc.description.abstractru | В диссертации рассмотрены газоразрядные источники ННП при атмосферном давлении и их применение для генерации озона, нейтрализации угарного газа, в технологии производства жидкокристаллических дисплеев и для наносферной литографии. Показано, что ННП при атмосферном давлении желательно получать в источниках с трехэлектродной системой на основе барьерного ВЧ разряда. Теоретически установлено, что приэлектродные слои пространственного заряда в слаботочном режиме аргонового БВЧ разряда при атмосферном давлении толще, чем в аргоновом ВЧ разряде с голыми металлическими электродами. Экспериментально и теоретически установлено, что в переходном режиме БВЧ разряда в аргоне при атмосферном давлении локально сосуществуют структуры характерные как для слаботочного, так и для сильноточного режимов разряда. В широком диапазоне токов и напряжений измерены принципиальные электрические характеристики барьерного ВЧ разряда. Экспериментально установлено, что обработка плоским плазменным потоком аргоновой БВЧ разряда при атмосферном давлении наводит ориентацию нематических жидких кристаллов и реактивного мезогена на полиимидных плѐнках, и уменьшает размеры полипропиленовых наносфер для наносфернои литографии. В результате работы разработан алгоритм расчѐта электрических характеристик аргонового барьерного ВЧ разряда, источники нетермический неравновесной плазмы при атмосферном давлении на основе трехэлектродного барьерного ВЧ разряда, многокоронного и низкочастотных планарного и объемного барьерного разрядов. | uk |
| dc.description.abstractuk | У дисертації розглянуті газорозрядні джерела ННП атмосферного тиску та їх застосування для генерації озону, нейтралізації чадного газу, в технології виробництва рідкокристалічних дисплеїв і для наносферної літографії. Показано, що ННП атмосферного тиску бажано отримувати в джерелах з трьохелектродною системою на основі бар`єрного ВЧ розряду. Теоретично встановлено, що приелектродні шари просторового заряду в слабкострумовому режимі аргонового БВЧ розряду атмосферного тиску товщі, ніж у аргоновому ВЧ розряді з голими металевими електродами. Експериментально та теоретично встановлено, що в перехідному режимі БВЧ розряду атмосферного тиску в аргоні локально співіснують структури характерні як слабкострумовому, так і сильнострумовому режиму розряду. В ширшому діапазоні струмів та напруг виміряні принципові електричні характеристики бар’єрного ВЧ розряду. Експериментально встановлено, що обробка плоским плазмовим потоком аргонового БВЧ розряду при атмосферному тиску наводить орієнтацію нематичних рідких кристалів та реактивного мезогену на поліімідних плівках, та зменшує розміри поліпропіленових наносфер для наносферної літографії. В результаті роботи розроблено алгоритм розрахунку електричних характеристик аргонового бар’єрного ВЧ розряду, джерела нетермічної нерівноважної плазми при атмосферному тиску на основі трьохелектродного бар’єрного ВЧ розряду, багатокоронного та низькочастотних компланарного та об’ємного бар’єрного розряду. | uk |
| dc.format.page | 24 л. | uk |
| dc.identifier.uri | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/13907 | |
| dc.language.iso | uk | uk |
| dc.publisher | Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут" | uk |
| dc.publisher.place | Київ | uk |
| dc.status.pub | published | uk |
| dc.subject.udc | 537.523 | uk |
| dc.title | Джерела нетермічної плазми атмосферного тиску та їх застосування | uk |
| dc.type | Other | uk |
| thesis.degree.level | candidate | uk |
| thesis.degree.name | кандидат технічних наук | uk |
| thesis.degree.speciality | 05.27.02 – вакуумна, плазмова та квантова електроніка | uk |