Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКиршина, Ирина Анатольевна
dc.contributor.authorОкин, Павел Александрович
dc.contributor.authorФилонов, Олег Михайлович
dc.date.accessioned2018-10-14T22:44:26Z
dc.date.available2018-10-14T22:44:26Z
dc.date.issued2014
dc.descriptionПолный текст доступен на сайте издания по подписке: http://radio.kpi.ua/article/view/S0021347014110065uk
dc.description.abstractruПроведен сравнительный анализ топологических решений на этапе проектирования микроэлектромеханических резонаторов. Изучена зависимость чувствительности колебательной системы от ее ориентации по отношению к базовым кристаллографическим осям. Разработаны рекомендации по выбору топологии планарной конструкции в зависимости от характера решаемых изделием задач.uk
dc.format.pagerangeС. 51-56uk
dc.identifier.citationКиршина, И. А. Влияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторов / И. А. Киршина, П. А. Окин, О. М. Филонов // Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника. – 2014. – Т. 57, № 11 (629). – C. 51–56. – Библиогр.: 3 назв.uk
dc.identifier.doihttps://doi.org/10.20535/S0021347014110065
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/24812
dc.language.isoruuk
dc.publisherНТУУ «КПИ»uk
dc.publisher.placeКиевuk
dc.sourceИзвестия высших учебных заведений. Радиоэлектроника, 2014, Т. 57, № 11 (629)uk
dc.subjectмикроэлектромеханические резонаторuk
dc.subjectчувствительность колебательной системыuk
dc.subjectдинамические характеристикиuk
dc.subjectмонокристаллический кремнийuk
dc.subject.udc621.382(06)uk
dc.titleВлияние анизотропии монокристаллического кремния на динамические характеристики микроэлектромеханических резонаторовuk
dc.typeArticleuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2014-11-51.pdf
Розмір:
56.98 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Первая страница
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.74 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Известия высших учебных заведений. Радиоэлектроника: международный ежемесячный научно-технический журнал, Т. 57, № 11 (629)