Эллипсометрический контроль поверхностей деталей из неметаллических материалов

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorСидорко, В. И.
dc.contributor.authorФилатов, А. Ю.
dc.contributor.authorФилатов, Ю. Д.
dc.contributor.authorПоперенко, Л. В.
dc.contributor.authorСідорко, В. І.
dc.contributor.authorФілатов, О. Ю.
dc.contributor.authorФілатов, Ю. Д.
dc.contributor.authorПоперенко, Л. В.
dc.contributor.authorSidorko, V. I.
dc.contributor.authorFilatov, A. Y.
dc.contributor.authorFilatov, Y. D.
dc.contributor.authorPoperenko, L. V.
dc.date.accessioned2015-04-14T08:59:34Z
dc.date.available2015-04-14T08:59:34Z
dc.date.issued2006
dc.description.abstractenIt is shown, that the optical constants of the processed material, condition of its surface and condition of working layer of the tool it is variable periodically at the manufacturing process.uk
dc.description.abstractruПоказано, что в процессе обработки оптические постоянные обрабатываемого материала, состояние его поверхности и рабочего слоя инструмента изменяются периодически.uk
dc.description.abstractukПоказано, що у процесі обробки оптичні постійні оброблюваного матеріалу, стану його поверхні й робочого шару інструмента періодично змінюються.uk
dc.format.pagerangeС. 44-52uk
dc.identifier.citationЭллипсометрический контроль поверхностей деталей из неметаллических материалов / Сидорко В. И., Филатов А. Ю., Филатов Ю. Д., Поперенко Л. В. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2006. – Вип. 31. – С. 44–52. – Бібліогр.: 8 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/11373
dc.language.isoruuk
dc.publisherНТУУ "КПІ"uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceВісник НТУУ «КПІ». Приладобудування: збірник наукових працьuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subject.udc621.923uk
dc.titleЭллипсометрический контроль поверхностей деталей из неметаллических материаловuk
dc.title.alternativeЕліпсометричний контроль поверхонь деталей з неметалевих матеріалівuk
dc.title.alternativeEllipsometric monitoring of surfaces of the nonmetallic materialsuk
dc.typeArticleuk
thesis.degree.level-uk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
r4_1.pdf
Розмір:
340.14 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування: збірник наукових праць, Вип. 31