Розроблення технології отримання орієнтованих плівок нітриду алюмінія з п'єзоелектричними властивостями для огранізації функціональних МЕМС-структур у складі наноелектронних комірок
Вантажиться...
Дата
2011
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут"
Анотація
Звіт про НДР "Розроблення технології отримання орієнтованих плівок нітриду алюмінія з
п’єзоелектричними властивостями для організації функціональних МЕМС-структур у
складі наноелектронних комірок": 130 с., 39 рис., 12 табл., 126 джерел, 2 додатки.
Об’єкт дослідження – тонкоплівкові мультикомпонентні матеріали на основі
нітридів металів.
Мета роботи: розробка технології низькотемпературного синтезу та дослідження
властивостей орієнтованих плівок нітриду алюмінія з п’єзоелектричними властивостями
для створення плівкових МЕМС-структур (структури на основі мікроелектромеханічних
систем). Проведені дослідження синтезу наноструктурних плівок AlN на підкладках
кремнія методом магнетронного реактивного розпилення на постійному струмі.
Досліджено вплив технологічних параметрів на якісний склад та структуру отриманих
тонких плівок. Виконані роботи з оптимізації впливу технологічних режимів та
параметрів на структуру та властивості плівок AlN (тиск, потужність ВЧ, температура
підкладки, швидкість потоку газу і композиції) для одержання високоорієнтованих плівок
AlN з С-віссю. Отримані тонкі алюмінієві плівки нітриду методом реактивного
високочастотного магнетронного розпиленням на різноманітних підкладках: SiO2, poly-
Al(111), poly-Pt(111), Si(100), Si(111), полікристалічний алмаз, сапфір [(001)-Al2O3].
Результати дозволяють конкретизувати умови синтезу плівок (товщина 0,5—1,5 мкм), їх
склад та методики вимірювання їх фізичних характеристик. Розроблено технологічний
маршрут виготовлення орієнтованих плівок нітриду алюмінія. Розроблена математична
модель твердотільного електромеханічного елемента для організації МЕМС-структури.
Отримані результати рекомендовано використовувати при розробці твердотільних
резонаторів і актюаторів мікроелектромеханічних систем, відпрацюванню нових
технологічних та конструктивних рішень для створення високочутливих, швидкодіючих,
селективних мікроелектронних сенсорів та актуаторів в галузі приладобудування, при
мініатюризації електронних компонентів.
Опис
Ключові слова
тонкі плівки, нітрид алюмінія, мікроелектромеханічні системи, резонатор, структура, діелектрик, п'єзоелектрик, актюатор, керування, магнетронне реактивне розпилення
Бібліографічний опис
Розроблення технології отримання орієнтованих плівок нітриду алюмінія з п'єзоелектричними властивостями для огранізації функціональних МЕМС-структур у складі наноелектронних комірок : звіт про НДР (заключ.) НТУУ "КПІ" ; кер. роб. Ю. Якименко. - К., 2011. - 130 л. + CD-ROM. - Д/б №2336-п