Мікромеханічний поверхневий терморезисторний перетворювач лінійної швидкості середовища в каналі прямокутного перерізу

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЛупина, Борис Іванович
dc.contributor.authorLupyna, Borys Ivanovych
dc.contributor.authorЛупина, Борис Иванович
dc.date.accessioned2017-07-26T10:52:14Z
dc.date.available2017-07-26T10:52:14Z
dc.date.issued2016
dc.description.abstractenAn analytical model of a non-intrusive micro-electro-mechanical (MEMS) thermal sensor into a rectangular cross-section flow channel is presented and investigated. The analytical expressions for temperature distribution are obtained and numerical values are calculated for a MEMS structures included three-element thermally isolated thin film resistors at a SiO2/Si3N4 dielectric membrane. The model includes the heat exchange from the both frontal and opposite membrane sides and is applicable for gas or liquid flow velocity measurements. The sensor and channel structural design features and materials thermal properties are taken into accounts into the model. The DC heating operations are analyzed including the both constant power dissipation and constant heater temperature modes.uk
dc.description.abstractruВ работе выполнен анализ теплообменных процессов в поверхностном терморезисторном преобразователе линейной скорости среды, вмонтированном в стенку потокоформирующего канала прямоугольного сечения. Преобразователь спроектован по технологии микроэлектромеханических систем на кремнии. Анализ термоанемометрического и калориметрического методов измерительного преобразования линейной скорости среды касательно к мембранному преобразователю показал, что преимуществами предложенного подхода является возможность учета в модели поверхностного преобразователя его конструктивных особенностей и геометрических размеров, теплообмена с обратной стороны теплоизолированной структуры и теплофизических характеристик составляющих материалов.uk
dc.description.abstractukВ роботі проведено аналіз теплообмінних процесів в поверхневому терморезисторному перетворювачі лінійної швидкості середовища, вмонтованому в стінку потокоформуючого каналу прямокутного перерізу. Перетворювач спроектовано за технологією мікроелектромеханічних систем на кремнії. Аналіз термоанемометричного та калориметричного методів вимірювального перетворення лінійної швидкості середовища стосовно до мембранного перетворювача показав, що перевагами запропонованого підходу є можливість врахування в моделі поверхневого перетворювача його конструктивних особливостей і геометричних розмірів, теплообміну із зворотного боку теплоізольованої структури та теплофізичних характеристик складових матеріалів.uk
dc.format.pagerangeС. 17-28uk
dc.identifier.citationЛупина Б. І. Мікромеханічний поверхневий терморезисторний перетворювач лінійної швидкості середовища в каналі прямокутного перерізу / Б. І. Лупина // Електроніка та зв'язок : науково-технічний журнал. – 2016. – Т. 21, № 3(92). – С. 17–28. – Бібліогр.: 23 назви.uk
dc.identifier.doihttps://doi.org/10.20535/2312-1807.2016.21.3.81454
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/20129
dc.language.isoukuk
dc.publisherНТУУ «КПІ»uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.sourceЕлектроніка та зв'язок : науково-технічний журнал, Т. 21, № 3(92)uk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectтерморезисторний первинний перетворювачuk
dc.subjectмікроелектромеханічна системаuk
dc.subjectтеплоізольована структураuk
dc.subjectлінійна швидкість середовищаuk
dc.subjectкалориметричний метод вимірювання швидкостіuk
dc.subjectMEMS thermal fluid velocity sensoruk
dc.subjectheat-loss anemometeruk
dc.subjectnon-intrusive calorimetric sensoruk
dc.subjectтерморезисторный первичный преобразовательuk
dc.subjectмикроэлектромеханическая системаuk
dc.subjectтеплоизолированная структураuk
dc.subjectлинейная скорость средыuk
dc.subjectкалориметрический метод измерения скоростиuk
dc.subject.udc621.3.082uk
dc.titleМікромеханічний поверхневий терморезисторний перетворювач лінійної швидкості середовища в каналі прямокутного перерізуuk
dc.title.alternativeMicromechanical non-intrusive thermal resistive sensor of fluid velocity into a rectangular cross-section flow channeluk
dc.title.alternativeМикромеханический поверхностный терморезисторный преобразователь линейной скорости среды в канале прямоугольного сеченияuk
dc.typeArticleuk
thesis.degree.level-uk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
EiS2016-3_3Lupyna.pdf
Розмір:
499.79 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.8 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Електроніка та зв'язок: науково-технічний журнал, Т. 21, № 3(92)