Особливості виникнення та розвитку імпульсного магнетронного розряду
dc.contributor.author | Кузьмичєв, А. І. | |
dc.contributor.author | Крижановський, В .І. | |
dc.contributor.author | Дяченко, С. М. | |
dc.date.accessioned | 2023-10-12T22:13:03Z | |
dc.date.available | 2023-10-12T22:13:03Z | |
dc.date.issued | 2011 | |
dc.description.abstract | Проведено дослідження імпульсного магнетронного розряду. Встановлено фізична картина процесу його виникнення і розвитку, а також фактори, що впливають на нього. Виявлено дві фази розвитку розряду - повільна слабкострумова і швидка Потужнострумові. Визначено шляхи досягнення високої стабільності часових параметрів виникнення і формування розряду. Отримані результати дозволяють вибирати оптимальні режими ланцюга підготовчому розряду і імпульсів генератора, що забезпечують стабільну роботу електронних приладів і пристроїв на імпульсно магнетронном розряді. | uk |
dc.description.abstractother | The study of pulsed magnetron discharge has been done. The physical picture of its arising and development as well as the affecting factors are established. Two phases of discharge develop ment have been revealed – slow low-current and fast high-currents ones. Ways of achievement of high stability of time parameters of ignition and formation of such discharge are defined. The gained results allow to choose optimum regimes of a power supply circuit of the initiating discharge and of the pulse generator, providing stable work of electron devices and apparatus based on pulsed magnetron discharge. | uk |
dc.format.pagerange | Pp. 5-10 | uk |
dc.identifier.citation | Кузьмичєв, А. І. Особливості виникнення та розвитку імпульсного магнетронного розряду / Кузьмичєв А. І., Крижановський В .І., Дяченко С. М. // Электроника и связь : научно-технический журнал. Тематический выпуск «Электроника и нанотехнологии». – 2011. – №6(65). – С. 5-10. – Бібліогр.: 6 назв. | uk |
dc.identifier.doi | https://doi.org/10.20535/2312-1807.2011.16.6.240309 | |
dc.identifier.uri | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/61332 | |
dc.language.iso | uk | uk |
dc.publisher | НТУУ «КПІ» | uk |
dc.publisher.place | Київ | uk |
dc.relation.ispartof | Электроника и связь: научно-технический журнал, № 6(65) | uk |
dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by/4.0/ | |
dc.subject | імпульсний магнетронний розряд | uk |
dc.subject | виникнення розряду | uk |
dc.subject | вольтамперні характеристики | uk |
dc.subject | підготовчий розряд | uk |
dc.subject | нестабільність | uk |
dc.subject.udc | 621.31: 537.523.3 | uk |
dc.title | Особливості виникнення та розвитку імпульсного магнетронного розряду | uk |
dc.type | Article | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Вантажиться...
- Назва:
- 240309-555383-1-10-20211011.pdf
- Розмір:
- 518.74 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
- Опис:
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 1.71 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: