Фоточутливі структури з пористим кремнієм

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorБілик, Т. Ю.
dc.contributor.authorШкарніков, С. С.
dc.date.accessioned2013-08-06T12:56:45Z
dc.date.available2013-08-06T12:56:45Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractenThe samples covered with porous silicon layer, achieved by the method of chemical etching, were investigated in this article. The spectral dependences of photosensitivity of the Al/porous-Si contact were achieved and compared with similar dependence for Al/c-Si contact. The analysis of achieved results have shown that photosensitivity in case of the samples of silicon layer is higher by a factor of ten and shortwave “tail” is observed on the spectral dependence. Integrated photosensitivity of the contact grows with increase of etching duration,until in approximately 1.5 minutes of etching it reaches saturation.uk
dc.description.abstractukБули досліджені пластини з шаром пористого кремнію, отримані методом хімічного травлення. З використанням монохроматора були отримані спектральні залежності фоточутливості контакту Al/пористий кремній та порівняні з аналогічною залежністю для контакту Al/c-Si. Аналіз отриманих даних показав, що фоточутливість у випадку з шаром пористого кремнію на порядок вища та на спектральній залежності спостерігається короткохвильовий «хвіст». Інтегральна фоточутливість контакту росте зі збільшенням тривалості травлення, поки не досягає насичення при часі травлення приблизно в 1,5 хвилини.uk
dc.format.pagerangeС. 11-13uk
dc.identifier.citationБілик Т. Ю. Фоточутливі структури з пористим кремнієм / Т. Ю. Білик, С. С. Шкарніков // Электроника и связь : научно-технический журнал. – 2012. – № 4(69). – С. 11–13. – Бібліогр.: 5 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/3406
dc.language.isoukuk
dc.publisherНТУУ "КПИ"uk
dc.publisher.placeКиевuk
dc.sourceЭлектроника и связь: научно-технический журналru
dc.source.nameЭлектроника и связь: научно-технический журналuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectпористий кремнійuk
dc.subjectхімічне травленняuk
dc.subjectфоточутливістьuk
dc.subject.udc621.383uk
dc.titleФоточутливі структури з пористим кремніємuk
dc.typeArticleuk
thesis.degree.level-uk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2.pdf
Розмір:
301.52 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Электроника и связь: научно-технический журнал, № 4(69)