Розвиток та стан мікроелектромеханічних систем

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКазаченко, Г. А.
dc.contributor.authorГераїмчук, М. Д.
dc.contributor.authorKazachenko, G. A.
dc.contributor.authorGeraimchuk, M. D.
dc.contributor.authorКазаченко, Г. А.
dc.contributor.authorГераимчук, М. Д.
dc.date.accessioned2014-12-03T17:31:09Z
dc.date.available2014-12-03T17:31:09Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractenIn this paper the analysis of a condition and development of microelectromechanical systems (MEMS) is lead, technological processes of their manufacturing and the software of computer modulation MEMS are considered. Existing micro devices and systems of measurement of parameters of movement, in particular, acceleration, and also devices of orientation and navigation are considered.uk
dc.description.abstractruВ работе проведен анализ состояния и развития микроэлектромеханических систем (МЕМС), рассмотрены технологические процессы их изготовления и программное обеспечение компьютерного модулирования МЕМС. Рассмотрены существующие микроустройства, приборы и системы измерения параметров движения, в частности, ускорения, а также приборы ориентации и навигации.uk
dc.description.abstractukВ роботі проведений аналіз стану та розвитку мікроелектромеханічних систем (МЕМС), розглянуті технологічні процеси їх виготовлення та програмне забезпечення комп’ютерного моделювання МЕМС. Розглянуто існуючі мікропристрої, прилади та системи вимірювання параметрів руху, зокрема, прискорення, а також прилади орієнтації та навігації.uk
dc.format.pagerangeС. 135-142uk
dc.identifier.citationКазаченко Г. А. Розвиток та стан мікроелектромеханічних систем / Казаченко Г. А., Гераїмчук М. Д. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2008. – Вип. 35. – С. 135–142. – Бібліогр.: 14 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/9617
dc.language.isoukuk
dc.publisherНТУУ "КПІ"uk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.source.nameВісник НТУУ «КПІ». Приладобудування: збірник наукових працьuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subject.udc681.586+531.76uk
dc.titleРозвиток та стан мікроелектромеханічних системuk
dc.title.alternativeСondition and development of microelectromechanical systemsuk
dc.title.alternativeРазвитие и состояние микроэлектромеханических системuk
dc.typeArticleuk
thesis.degree.level-uk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
razd_7_4.pdf
Розмір:
1.75 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування: збірник наукових праць, Вип. 35