Al/nanocrystalline CeOx/Si/Al structures for heterojunction photodetectors
dc.contributor.author | Borisov, A. V. | |
dc.contributor.author | Korolevych, L. N. | |
dc.contributor.author | Maksimchuk, N. V. | |
dc.contributor.author | Борисов, О. В. | |
dc.contributor.author | Королевич, Любомир Миколайович | |
dc.contributor.author | Максимчук, Н. В. | |
dc.contributor.author | Борисов, А. В. | |
dc.contributor.author | Королевич, Любомир Николаевич | |
dc.contributor.author | Максимчук, Н. В. | |
dc.date.accessioned | 2015-03-20T14:26:28Z | |
dc.date.available | 2015-03-20T14:26:28Z | |
dc.date.issued | 2014 | |
dc.description.abstracten | A stable metal/nc-CeOx/Si structures were fabricated and investigated for the creation of heterojunction photodetectors. The photosensitivity of obtained structures in the visible range was 330 µA/lm·V. The value of the interface state density was of 7·10¹⁰ cm⁻²·eV⁻¹. DC dielectric constant of nanocrystalline CeOx film was about 15. Thin (80 nm) cerium oxide films in Al/nc-CeOx/Si/Al structures were obtained by the vacuum flash evaporation method. The effect of technological factors on the CeOx films microstructure as well as on photoelectric properties of the Al/nc-CeOx/Si/Al structures has been investigated. Electrophysical and photoelectric properties of the Al/nc-CeOx/Si/Al structures has been investigated. It was revealed that the nanocrystalline CeOx layer in the obtained Al/nc-CeOx/Si/Al structures is a semiconductor with an electronic conductivity. It’s volume resistivity is within the range of 0.5-30 MOhm·cm. | uk |
dc.description.abstractru | Изготовлены и исследованы структуры метал/нанокристаллический-CeOx/Si с целью создания фотодетекторов на основе гетероперехода. Фоточувствительность полученных структур в видимом диапазоне составляет 330 мкA/Лм·В, плотность поверхностных состояний – на уровне 7·10¹⁰ см⁻²·еВ⁻¹. Диэлектрическая проницаемость пленок CeOx на постоянном токе достигает значения 15. Тонкие (80 нм) пленки оксида церия в структурах Al/nc-CeOx/Si/Al были получены методом «взрывного испарения». Исследовано влияние технологических факторов на микроструктуру пленок CeOx, а также на фотоэлектрические свойства структур Al/nc-CeOx/Si/Al. Исследованы электрофизические и фотоэлектрические свойства структур Al/nc-CeOx/Si/Al. Обнаружено, что нанокристаллическая пленка CeOx в полученных структурах Al/nc-CeOx/Si/Al - это полупроводник с электронным типом электропроводности и объемным сопротивлением в пределах 0,5-30 МОм·см. | uk |
dc.description.abstractuk | Виготовлено та досліджено структури метал/нанокристалічний-CeOx/Si з метою створення фтотодетекторів на основі гетеропереходу. Фоточутливість отриманих структур у видимому діапазоні становить 330 мкA/Лм·В, густина поверхневих станів – на рівні 7·10¹⁰ см⁻²·еВ⁻¹. Діелектрична проникненість плівок CeOx на постійному струмі становить 15. Тонкі (80 нм) плівки оксиду церію в структурах Al/nc-CeOx/Si/Al були отримані методом «вибухового випаровування». Було досліджено вплив технологічних факторів на мікроструктуру плівок CeOx, а також на фотоелектричні властивості структур Al/nc-CeOx/Si/Al. Досліджено електрофізичні та фотоелектричні властивості структур Al/nc-CeOx/Si/Al. Виявлено, що нанокристалічна плівка CeOx в отриманих структурах Al/nc-CeOx/Si/Al – це напівпровідник з електронним типом електропровідності та об’ємним опором в межах 0,5-30 МОм·см. | uk |
dc.format.pagerange | С. 9-13 | uk |
dc.identifier.citation | Borisov A. V. Al/nanocrystalline CeOx/Si/Al structures for heterojunction photodetectors / A. V. Borisov, L. N. Korolevych, N. V. Maksimchuk // Electronics and Communications : научно-технический журнал. – 2014. – Т. 19, № 6(83). – С. 9–13. – Бібліогр.: 9 назв. | uk |
dc.identifier.uri | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/11038 | |
dc.language.iso | en | uk |
dc.publisher | НТУУ "КПІ" | uk |
dc.publisher.place | Київ | uk |
dc.source | Electronics and Communications : научно-технический журнал, № 6(83) | uk |
dc.status.pub | published | uk |
dc.subject | heterojunction | en |
dc.subject | nanocrystalline cerium oxide films | en |
dc.subject | metal/oxide/semiconductor photodiode | en |
dc.subject | Al/CeOx/Si/Al structure | en |
dc.subject | СеОх | en |
dc.subject | гетероперехід | uk |
dc.subject | нанокристалічні плівки оксиду церію | uk |
dc.subject | МДН-фотодіод | uk |
dc.subject | структура Al/CeOx/Si/Al | uk |
dc.subject | СеОх | uk |
dc.subject | гетеропереход | ru |
dc.subject | нанокристаллические пленки оксида церия | ru |
dc.subject | МДП-фотодиод | ru |
dc.subject | структура Al/CeOx/Si/Al | ru |
dc.subject | СеОх | ru |
dc.subject.udc | 621.382, 621.383 | uk |
dc.title | Al/nanocrystalline CeOx/Si/Al structures for heterojunction photodetectors | uk |
dc.title.alternative | Структури Al/нанокристалічний CeOx/Si/Al для фотодетекторів на основі гетеропереходу | uk |
dc.title.alternative | Структуры Al/нанокристаллический CeOx/Si/Al для фотодетекторов на основе гетероперехода | uk |
dc.type | Article | uk |
thesis.degree.level | - | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 1.71 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: