Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorБондаренко, Максим Олексійович
dc.contributor.authorБілокінь, Світлана Олександрівна
dc.contributor.degreedepartmentфізикиuk
dc.contributor.degreefaculty-uk
dc.contributor.degreegrantorЧеркаський державний технологічний університетuk
dc.date.accessioned2015-11-05T10:02:36Z
dc.date.available2015-11-05T10:02:36Z
dc.date.issued2014
dc.format.page179 л.uk
dc.identifier.citationБілокінь С. О. Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні : дис. ... канд. техн. наук. : 05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовин / С. О. Білокінь. - Черкаси, 2014. - 178 л. + CD-ROMuk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/13700
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.rightsДисертація захищена авторським правом. Переглянути її можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.uk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectточність діагностуванняuk
dc.subjectкремнієвий зондuk
dc.subjectатомно-силова мікроскопіяuk
dc.subjectтонке покриттяuk
dc.subjectнанорельєфuk
dc.subjectмікротвердістьuk
dc.subjectточность диагностированияuk
dc.subjectкремниевый зондuk
dc.subjectатомно- силовая микроскопияuk
dc.subjectтонкое покрытиеuk
dc.subjectнанорельефuk
dc.subjectмикротвердостьuk
dc.subjectexactness of diagnosticatinguk
dc.subjectsilicic probeuk
dc.subjectatomic-force microscopyuk
dc.subjectthin coverageuk
dc.subjectnanoreliefuk
dc.subjectmicrohardnessuk
dc.subject.udc681.2:620.1 (043)uk
dc.titleПідвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванніuk
dc.typeThesis Doctoraluk
thesis.degree.levelcandidateuk
thesis.degree.nameкандидат технічних наукuk
thesis.degree.speciality05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовинuk

Файли

Зібрання

Дисертації (доступ у чит. залі № 6.6 НТБ)