Влияние примеси олова на структуру и оптические свойства SiOx матрицы
Вантажиться...
Дата
2016
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПІ»
Анотація
Опис
Ключові слова
нанокристаллический кремний, кристаллизация, тонкопленочный кремний, легирование оловом, изохронный отжиг
Бібліографічний опис
Влияние примеси олова на структуру и оптические свойства SiOx матрицы / Д. Д. Оргунова, А. В. Гильчук, В. В. Войтович, Р. Н. Руденко // Матеріали XIV Всеукраїнської науково-практичної конференції студентів, аспiрантiв та молодих вчених «Теоретичні i прикладні проблеми фізики, математики та інформатики». Секція «Фiзика енергетичних систем», м. Київ, 26-28 травня 2016. – Київ : НТУУ «КПІ». – 2016. – C. 115-117. – Бібліогр.: 3 назви.