Підвищення якісних характеристик оптичних елементів комбінованою електронно-променевою обробкою

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКоваленко, Юрій Іванович
dc.date.accessioned2021-04-16T08:47:08Z
dc.date.available2021-04-16T08:47:08Z
dc.date.issued2021
dc.descriptionРобота виконана на кафедрі фундаментальних дисциплін та прикладного матеріалознавства Черкаського державного технологічного університету Міністерства освіти і науки Україниuk
dc.description.abstractenThe dissertation is devoted to the theoretical synthesis and new solution of the scientific problem of technology and equipment improvement of the combined electron beam processing of optical elements. To implement the combined electron beam processing (combination of resistive method of deposition of thin coatings and electron beam processing in one technological cycle) the modernization of technological vacuum equipment and technological equipment (Pierce electronic gun, forming a tape-shaped electronic stream, resistive evaporator, electronic evaporator, mechanism for moving optical plates, quartz heaters for preheating and final cooling, high-voltage power supply, electronic flow control system and electronic control system -radiation processing). A number of methods have been developed, namely: the method of modifying the surfaces of combined electron beam processing optical materials (determines the technological sequence of operations in combined electron beam processing optical elements to obtain high quality surfaces), the method of assessing the surface quality of optical elements by atomic force microscopy (determines the surface quality of optical elements). technological modes that provide minimal roughness of the treated surface). A method for diagnosing and controlling the current density distribution of a low-energy electronic stream of tape shape is proposed, which allows to automatically determine the spatial and energy characteristics of the parameters of the tape electronic stream directly in the process of electron beam processing. The use of an automated system of flexible 24 control of electron-beam processing modes allows to control the specific power directly during the operating cycle and change its distribution by changing the voltage on the modulator, which leads to increased accuracy (5… 8%) and repeatability (2.2… .2.5 times) the results of processing. To understand the processes that occur as a result of the interaction of the electron flow with thin films on optical glass, a mathematical model for determining the spatial temperature distribution in such a system is built. Тhis model which takes into account the geometric and energy parameters of the electron flow obtained in real time and by means of which the distribution of thermal fields in an optical element is operatively determined. A computer model of the Pierce electronic gun of a given design is constructed, and the calculations of the electrostatic field and the trajectory of the electrons are performed, taking into account the influence of the bulk charge and the initial velocity. To increase the efficiency (the ratio of the current of the electronic flow, which falls to the total current of the electronic flow), the voltage is controlled on the modulator, which will increase the efficiency of the electronic flow and change its shape. As a result of probing the electron flow of the tape shape, it was found that at different parameters of the Pierce gun in practice there are different laws of current density distribution, which are different from the Gaussian distribution. This is due to the differences in the design of the electron beam gun from the ideal optics of Pierce. Probing the electron flow in the process of combined electron beam processing will allow you to control and manage the parameters of the electron flow, which will improve the quality of optical elements. The use of combined electron-beam treatment leads to improved surface of thin films (increased structure homogeneity and reduced microdefects, reduced average surface roughness, thin films obtained by the basic technology have more zones with high mechanical stresses, compared to thin films obtained by the technology obtained). It is established that after electron beam processing the sensitivity of the elements of PPR devices increases 1.7 times. The results of the work have found practical application in domestic and foreign enterprises.uk
dc.description.abstractruДиссертация посвящена теоретическому обобщению и новому решению научной задачи совершенствования технологии и электронно-лучевого оборудования комбинированой электронно-лучевой обработки (сочетание резистивного метода осаждения тонких покрытий и электронно-лучевой обработки в одном технологическом цикле) оптических элементов путем применения автоматизированной системы гибкого управления режимами обработки, совершенствование математических моделей, существующего и разработки нового методического, программно-аппаратного, технического обеспечения, что позволяет уменьшить микрошероховатости поверхности осажденной на нее металлической пленки, повысить их механическую прочность, а также определить диапазон рабочих параметров комбинированной электронно-лучевой обработки, обеспечивающих ее высокое качество и эффективность.uk
dc.description.abstractukДисертація присвячена теоретичному узагальненню і новому розв„язанню наукової задачі з вдосконалення технології та обладнання для комбінованого електронно-променевого оброблення (поєднання резистивного методу осадження тонких покриттів і електронно-променевого оброблення в одному технологічному циклі) оптичних елементів шляхом застосування автоматизованої системи гнучкого керування режимами оброблення, удосконалення математичних моделей, існуючого та розроблення нового методичного, програмно-апаратного, технічного забезпечення, що дозволяє зменшити мікрошорсткісті поверхні осадженої на неї металевої плівки, підвищити їх механічну міцність, а також визначити діапазон робочих параметрів комбінованої електронно-променевої обробки, що забезпечують її високу якість та ефективність.uk
dc.format.page26 с.uk
dc.identifier.citationКоваленко, Ю. І. Підвищення якісних характеристик оптичних елементів комбінованою електронно-променевою обробкою : автореф. дис. … канд. техн. наук. : 05.03.07 – процеси фізико-технічної обробки / Коваленко Юрій Іванович. – Київ, 2021. – 26 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/40641
dc.language.isoukuk
dc.publisherКПІ ім. Ігоря Сікорськогоuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectтонкі плівкиuk
dc.subjectякісні характеристики оптичних елементівuk
dc.subjectкомбінована електронно-променева технологіяuk
dc.subjectелектронно-променева гарматаuk
dc.subjectthin filmsuk
dc.subjectqualitative characteristics of optical elementsuk
dc.subjectcombined electron-beam technologyuk
dc.subjectelectron-beam gunuk
dc.subjectтонкие пленкиuk
dc.subjectкачественные характеристики оптических элементовuk
dc.subjectкомбинированная электронно-лучевая технологияuk
dc.subjectэлектронно-лучевая пушкаuk
dc.subject.udc621.9.048.7(043.3)uk
dc.titleПідвищення якісних характеристик оптичних елементів комбінованою електронно-променевою обробкоюuk
dc.typeThesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Kovalenko_aref.pdf
Розмір:
1.36 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
9.01 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Автореферати (вільний доступ)