Фазовий склад, структура і рівень механічних напружень в нанорозмірних плівках Co-Sb – функціональних елементів термоелектрики

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorМакогон, Юрій Миколайович
dc.contributor.authorСидоренко, Сергій Іванович
dc.contributor.authorШкарбань, Руслан Анатолійович
dc.date.accessioned2018-11-07T18:17:26Z
dc.date.available2018-11-07T18:17:26Z
dc.date.issued2017-04-24
dc.descriptionТвір наукового характеру, свідоцтво № 71613 (зареєстровано в Державному реєстрі свідоцтв про реєстрацію авторського права на твір 24.04.2017).uk
dc.description.abstractenDetermination of the regularities of formation of phase composition and structure and the level of stress in nanoscale films CoSbx(30 nm) (1,8≤x≤4,2) (65-81 atm.% Sb), grown by molecular beam deposition on the substrate SiO2(100 nm)/Si(001) at a temperature of 200оC and annealed under vacuum in the range (200-700)оC. It was found that the pattern of formation of phase composition in the Co-Sb films after deposition of defined sequence that is similar to the diagram of phase equilibrium for a massive state of Co-Sb system. It is shown that annealing the films at temperatures above 300оC occurs as the excess antimony sublimation and antimony a crystalline phase CoSb3, which leads to increased mechanical stress ~5 times and is accompanied by a decrease in the size of the ROC phase CoSb3, occurrence of cracks and subsequent degradation of the film material.uk
dc.description.abstractruОпределены закономерности формирования фазового состава и структуры и уровень механических напряжений в наноразмерных пленках CoSbх(30 нм) (1,8≤х≤4,2) (65-81 ат.% Sb), полученных методом молекулярно-лучевого осаждения на подложки SiO2(100 нм)/Si(001) при температуре 200оС и отожженных в вакууме в интервале (200-700)оС. Установлено, что закономерность формирования фазового состава в пленках Co-Sb после осаждения определяется последовательностью, которая аналогична диаграмме фазового равновесия для массивного состояния системы Co-Sb. Показано, что при отжиге пленок при температурах выше 300оС происходит сублимация как избыточной сурмы, так и сурмы с кристаллической фазы CoSb3, что приводит к увеличению механических напряжений в ~5 раз и сопровождается уменьшением размера ОКР фазы CoSb3, появлением трещин и последующей деградацией пленочного материала.uk
dc.description.abstractukВизначено закономірності формування фазового складу і структури та рівень механічних напружень в нанорозмірних плівках CoSbх(30 нм) (1,8≤х≤4,2) (65-81 ат.% Sb), отриманих методом молекулярно-променевого осадження на підкладки SiO2(100 нм)/Si(001) при температурі 200оС і відпалених у вакуумі в інтервалі (200-700)оС. Встановлено, що закономірність формування фазового складу в плівках Co-Sb після осадження визначається послідовністю, що є аналогічною діаграмі фазової рівноваги для масивного стану системи Co-Sb. Показано, що при відпалах плівок при температурах вище 300оС відбувається сублімація як надлишкової сурми, так і сурми з кристалічної фази CoSb3, що призводить до зростання механічних напружень в 5 разів і супроводжується зменшенням розміру ОКР фази CoSb3, появою тріщин та подальшою деградацією плівкового матеріалу.uk
dc.format.page7 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/24973
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectнанорозмірна плівкаuk
dc.subjectтермічна обробкаuk
dc.subjectскутерудит CoSb3uk
dc.subjectантимонідuk
dc.subjectкоефіцієнт термоелектричної ефективностіuk
dc.subjectnanoscaled filmuk
dc.subjectheat treatmentuk
dc.subjectskutterudite CoSb3uk
dc.subjectantimonideuk
dc.subjectthermoelectric efficiency factoruk
dc.subjectнаноразмерная пленкаuk
dc.subjectтермическая обработкаuk
dc.subjectскуттерудит CoSb3uk
dc.subjectантимонидuk
dc.subjectкоэффициент термоэлектрической эффективностиuk
dc.subject.udc39.216.2:661.685uk
dc.titleФазовий склад, структура і рівень механічних напружень в нанорозмірних плівках Co-Sb – функціональних елементів термоелектрикиuk
dc.typeOtheruk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Avtorske_Svidotstvo_1_Co-Sb_Yu.N.Makohon.pdf
Розмір:
953.31 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.74 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Інше (ФМ ІФФ)