Особливості використання методу скануючої рідиннофазової епітаксії для вирощування товстих епітаксійних шарів
Вантажиться...
Дата
2020
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
скануюча рідиннофазова епітаксія, сила Ампера, ріст у градієнті температури, scanning liquid phase epitaxy, Ampere force, temperature gradient growth, сканирующая жидкофазная эпитаксия, рост в градиенте температуры
Бібліографічний опис
Цибуленко, В. В. Особливості використання методу скануючої рідиннофазової епітаксії для вирощування товстих епітаксійних шарів / В. В. Цибуленко, С. В. Шутов, О. О. Боскін // Наукові вісті КПІ : міжнародний науково-технічний журнал. – 2020. – № 3(130). – С. 58–64. – Бібліогр.: 14 назв.