Growing parameters and quality of ZnO seed-layer film. Part 2
dc.contributor.author | Bogdan, A. V. | |
dc.contributor.author | Orlov, A. T. | |
dc.contributor.author | Ulianova, V. A. | |
dc.contributor.author | Богдан, О. В. | |
dc.contributor.author | Орлов, А. Т. | |
dc.contributor.author | Ульянова, В. О. | |
dc.contributor.author | Богдан, А. В. | |
dc.contributor.author | Орлов, А. Т. | |
dc.contributor.author | Ульянова, В. А. | |
dc.date.accessioned | 2013-09-09T10:51:13Z | |
dc.date.available | 2013-09-09T10:51:13Z | |
dc.date.issued | 2013 | |
dc.description.abstracten | The results of deposition of ZnO seed-layer on the silicon substrate, Al-coated silicon and Al-coated lithium niobate substrates by sol-gel method at sol concentration of 0,8 and 1,2 M were introduced. It was shown that film roughness and grain size had increased with increasing of the sol concentration. The new results of synthesis of ZnO vertically oriented nanorods on the obtained thin seed-layer on the silicon substrate by hydrothermal method were presented. The diameter and density of synthesized ZnO nanorods were defined, the dependence between such geometrical parameters and seed-layer properties was shown. The оbtained results could be applied for design of acoustic wave sensors and nanoscale devices. | uk |
dc.description.abstractru | Представлены результаты получения зародышевого слоя ZnO с помощью золь-гель метода при концентрациях золя 0,8 и 1,2 М на подложках кремния, на подложках кремния и ниобата лития с пленой алюминия. Показано, что с увеличением концентрации золя шероховатость пленки и диаметр зерна увеличиваются. Приведены результаты синтеза вертикальных стержневых структур ZnO на полученных тонких пленках зародышевого слоя с помощью метода гидротермального синтеза на подложках кремния. Определены диаметр и плотность синтезированных стержневых структур ZnO, показана зависимость таких геометрических параметров стержневых структур от свойств зародышевого слоя. Полученные результаты могут быть использованы для создания сенсоров на акустических волнах и наноразмерных приборов. | uk |
dc.description.abstractuk | Представлено результати отримання зародкового шару ZnO за допомогою золь-гель меоду при концентраціях золю 0,8 та 1,2 М на підкладках кремнію, на підкладках кремнію та ніоботу літію з плівкою алюмінію. Показано, що зі збільшенням концентрації золю шорсткість плівки та діаметр зерна збільшуються. Подано результати синтезу вертикальних стрижневих структур ZnO на отриманих тонких плівках зародкового шару за допомогою меоду гідротермального синтезу на підкладках кремнію. Визначено діаметр і густину синтезованих стрижневих структур ZnO, показано залежність таких геометричних параметрів стрижневих структур від властивостей зародкового шару. Отримані результати можуть бути використані для створення сенсорів на акустичних хвилях та нанорозмірних приладів. | uk |
dc.format.pagerange | Pp. 16-21 | uk |
dc.identifier.citation | Bogdan A. V. Growing parameters and quality of ZnO seed-layer film. Part 2 / A. V. Bogdan, A. T. Orlov, V. A. Ulianova // Electronics and Communications : научно-технический журнал. – 2013. – № 2(73). – С. 16–21. – Библиогр.: 5 назв. | uk |
dc.identifier.uri | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/3630 | |
dc.language.iso | en | uk |
dc.publisher | НТУУ "КПИ" | uk |
dc.publisher.place | Киев | uk |
dc.source | Electronics and Communications : научно-технический журнал, № 2(73) | ru |
dc.status.pub | published | uk |
dc.subject | ZnO seed-layer | en |
dc.subject | ZnO nanorods | en |
dc.subject | sol-gel | en |
dc.subject | sol concentration | en |
dc.subject | hydrothermal method | en |
dc.subject | Introduction | en |
dc.subject | зародковий шар ZnO | uk |
dc.subject | нанострижні ZnO | uk |
dc.subject | золь-гель | uk |
dc.subject | концентрація золю | uk |
dc.subject | гідротермальний метод | uk |
dc.subject | зародышевый слой ZnO | ru |
dc.subject | золь-гель | ru |
dc.subject | наностержни ZnO | ru |
dc.subject | концентрация золя | ru |
dc.subject | гидротермальный метод | ru |
dc.subject.udc | 539.21 | uk |
dc.title | Growing parameters and quality of ZnO seed-layer film. Part 2 | uk |
dc.title.alternative | Параметри росту та якість плівки зародкового шару ZnO. Частина 2 | uk |
dc.title.alternative | Параметры роста и качество пленки зародышевого слоя ZnO. Часть 2 | uk |
dc.type | Article | uk |
thesis.degree.level | - | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 1.71 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: