Закономірності формування включень нових фаз на різних стадіях реактивної дифузії в тонкоплівкових наноструктурах

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.advisorВолошко С.
dc.contributor.researchgrantorНаціональний технічний університет України “Київський політехнічний інститут”uk
dc.date.accessioned2012-01-10T17:02:07Z
dc.date.available2012-01-10T17:02:07Z
dc.date.issued2008
dc.description.abstractОб’єкти дослідження – тонкоплівкові системи з шарами Cu, Cr, Fe, Ni, Ti на-нометрової (5 – 100 нм) товщини. Мета роботи – експериментальне дослідження та комп’ютерне моделювання процесів термостимульованої реактивної дифузії при формуванні включень нових фаз в багатошарових тонкоплівкових наноструктурах. Із залученням комплексу сучасних фізичних методів дослідження (рентгено-структурний аналіз, електронографія, електронна ожеспектроскопія, вторинно-іонна масспектрометрія, електронно-зондовий аналіз, електронна мікроскопія тощо) та комп’ютерного моделювання встановлені закономірності процесів термостимульованої реактивної дифузії при формуванні включень нових фаз в багатошарових тонкоплівкових наноструктурах. Досліджені процеси дифузійного формування фазового складу, структур-ноконцентраційних змін в багатошарових тонкоплівкових наноструктурах із залученням комплексу сучасних фізичних методів дослідження, таких як масспектрометрія вторинних іонів, електронна ожеспектроскопія, просвічуюча електронна мікроскопія поперечних зрізів, растрова електронна мікроскопія, резистометрія, рентгенофазовий аналіз тощо. Встановлений взаємозв’язок фазового, хімічного складу та структури з електрофізичними властивостями досліджених систем. Визначені загальні закономірності кінетики та механізмів масопереносу, зокрема, при інверсії матеріалів шарів та запропоновані моделі структурних та фазових перетворень з врахуванням впливу зовнішньої поверхні. Визначені механізми формування та самоорганізації поверхневих наноструктур в результаті розвитку твердотільних реакцій при підвищенні температури або тривалості відпалу. Запропоновані нові математичні моделі дифузійного формування включень нових фаз різної геометричної форми в пересичених твердих розчинах. Створено алгоритми та розроблено пакет прикладних ком'ютерних програм для числової реалізації поставлених дифузійних задач; проведене моделювання концентраційних розподілень дифузанту та динаміки росту розміру включень нової фази; розраховано параметри масопереносу в тонкоплівкових системах. Одержані в роботі наукові результати і встановлені фізичні закономірності мають практичний інтерес для вдосконалення режимів створення потрібних структурно-фазових станів у тонкоплівкових технологіях електронної промисловості, а також в галузі нанотехнологій. Розв’язки дифузійних задач у новій постановці та результати комп’ютерного моделювання можуть бути рекомендовані для оптимізації технологічних процесів, зокрема, режимів термічної обробки жароміцних сплавів для підвищення рівня механічних характеристик.uk
dc.identifierКВНТД 1.211.16.01
dc.identifier№ держреєстрації 0106U002153
dc.identifierД/б №2906
dc.identifier.citationЗакономірності формування включень нових фаз на різних стадіях реактивної дифузії в тонкоплівкових наноструктурах : звіт з НДР (заключ.) / НТУУ "КПІ" ; кер. роб. С. Волошко. - 236 л. + CD-ROM. - Д/б №2906uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/1362
dc.language.isoukuk
dc.rightsЗвіт захищений авторським правом. Переглянути його можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.uk
dc.subjectплівкиuk
dc.subjectмасопереносuk
dc.subjectреакційна дифузіяuk
dc.subjectнанокристлічні структуриuk
dc.subjectфазовий складuk
dc.subjectконцентраціяuk
dc.subjectкомп'ютерне моделюванняuk
dc.titleЗакономірності формування включень нових фаз на різних стадіях реактивної дифузії в тонкоплівкових наноструктурахuk
dc.typeTechnical Reportuk

Файли

Зібрання

Звіти про науково-дослідні роботи (доступ у чит. залі № 6.6 НТБ)