Імпульсний розряд в схрещених полях для отримання покриттів з розгалуженою поверхнею
Вантажиться...
Дата
2021
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
покриття з розгалуженою поверхнею, імпульсний розряд в схрещених полях, імпульсний модулятор, іонно-плазмове осадження, термоіонне осадження, імпульсне магнетронне розпилення, електронно-променеве випаровування, питома ємність конденсаторної фольги, coating with voluminous surface, pulse discharge in crossed fields, pulse modulator, ion-assisted deposition, thermoionic deposition, pulsed magnetron sputtering, electron-beam evaporation, specific capacity of capacitor foil, покрытие с развитой поверхностью, импульсный разряд в скрещённых полях, импульсный модулятор, ионно-плазменное осаждение, термоионным осаждения, импульсное магнетронного распыления, электронно лучевое испарение, удельная емкость конденсаторной фольги
Бібліографічний опис
Сидоренко, С. Б. Імпульсний розряд в схрещених полях для отримання покриттів з розгалуженою поверхнею : автореф. дис. … канд. техн. наук. : 05.27.02 – вакуумна, плазмова та квантова електроніка / Сидоренко Сергій Борисович. – Київ, 2021. – 24 с.