Термоанемометрия на основе поликристаллического карбида кремния кубической модификации
dc.contributor.author | Бубулис, А. | |
dc.contributor.author | Воронов, С. А. | |
dc.contributor.author | Генкин, А. М. | |
dc.contributor.author | Братусь, Т. И. | |
dc.contributor.author | Родионов, В. Н. | |
dc.contributor.author | Бубуліс, А. | |
dc.contributor.author | Воронов, С. О. | |
dc.contributor.author | Генкін, О. М. | |
dc.contributor.author | Братусь, Т. І. | |
dc.contributor.author | Родіонов, В. М. | |
dc.contributor.author | Bubulis, Algimantas | |
dc.contributor.author | Voronov, Sergiy A. | |
dc.contributor.author | Genkin, Oleksiy M. | |
dc.contributor.author | Bratus', Tetyana I. | |
dc.contributor.author | Rodionov, Volodymyr N. | |
dc.date.accessioned | 2017-05-01T15:16:45Z | |
dc.date.available | 2017-05-01T15:16:45Z | |
dc.date.issued | 2016 | |
dc.description.abstracten | Silicon carbide sensors occupy an important segment of the market of devices for extreme conditions usage. It has been shown that one of the semiconductor materials for optimum temperature and flow rate of a SiC polycrystalline cubic modification doped in process low temperature of growth 3CSiC by acceptor impurity boron (B). The goal was to develop thermoanemometer based on 3CSiC (B) and to study its characteristics. Velocity and temperature sensors of the anemometer were made of one block in the form of plates: area 1×1 mm2 and a thickness of 200 - 300 microns. Calibration characteristics of the sensor resistance up to 700K and the anemometer in the temperature range (290 - 410) K were determined. Temperature coefficient of resistance was 3,5 × 10-2 grad-1 at T = 300K. Temperature and velocity fields of convective air currents generated by the heated plate were measured by this anemometer. Measuring accuracy was: for flow rate 0.1 m/s, and for temperature 0,1 ° C with step 2 mm. | en |
dc.description.abstractru | Карбидкремниевые сенсоры занимают важный сегмент рынка приборов для экстремальных условий применения. Показано, что одним из оптимальных полупроводниковых материалов для измерения температуры и скорости потока является поликристаллический SiC кубической модификации, легированный в процессе низкотемпературного роста акцепторной примесью бора 3СSiC(В). Целью работы было разработка термоанемометра на основе 3СSiC(В) и изучение его характеристик. Датчики скорости и температуры анемометра изготовлены из одного блока в виде пластинок площадью 1×1 мм2 и толщиной 200 – 300 мкм. Определены градуировочные характеристики датчика сопротивления до 700К и анемометра в диапазоне температур (290 – 410) К. Температурный коэффициент сопротивления составляет 3,5×10-2град-1 при Т = 300К. С помощью анемометра проведено измерение полей температур и скоростей конвективных потоков воздуха, создаваемых нагретой пластиной. Точность измерения скорости потока составляет 0,1м/с, а температуры 0,1°С с разрешением 2 мм. | ru |
dc.description.abstractuk | Карбідкремнієві сенсори займають важливий сегмент ринку приладів для екстремальних умов застосування. Показано, що одним з оптимальних напівпровідникових матеріалів для виміру температури і швидкості потоку є полікристалічний карбід кремнію кубічної модифікації, легований в процесі низькотемпературного зростання акцепторною домішкою бору 3СSiC (В). Метою роботи було розробка термоанемометра на основі 3СSiC(В) і вивчення його характеристик. Сенсори швидкості і температури анемометра виготовлені з одного блоку у вигляді пластинок площею 1×1 мм2 і товщиною 200 – 300 мкм. Визначені градуювальні характеристики датчика опору до 700К і анемометра в діапазоні температур (290 – 410) К. Температурний коефіцієнт опору складає 3,5×10-2град-1 при Т=300К. За допомогою анемометра проведений вимір полів температур і швидкостей конвективних потоків повітря, що створюються нагрітою пластиною. Точність виміру швидкості потоку складає 0,1м/с, а температури 0,1°С з просторовим розрізненням 2 мм. | uk |
dc.format.pagerange | С. 42-47 | uk |
dc.identifier.citation | Термоанемометрия на основе поликристаллического карбида кремния кубической модификации / А. Бубулис, С. А. Воронов, А. М. Генкин, Т. И. Братусь, В. Н. Родионов // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2016. – Вип. 52(2). – С. 42–47. – Бібліогр.: 14 назв. | uk |
dc.identifier.uri | https://ela.kpi.ua/handle/123456789/19353 | |
dc.language.iso | ru | uk |
dc.publisher | КПІ ім. Ігоря Сікорського | uk |
dc.publisher.place | Київ | uk |
dc.source | Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць | uk |
dc.status.pub | published | uk |
dc.subject | анемометр | ru |
dc.subject | датчик скорости потока | ru |
dc.subject | датчик температуры | ru |
dc.subject | сенсор швидкості потоку | uk |
dc.subject | сенсор температури | uk |
dc.subject | anemometer | en |
dc.subject | flow sensor | en |
dc.subject | temperature sensor | en |
dc.subject.udc | 536.531; 551.508.5 | uk |
dc.title | Термоанемометрия на основе поликристаллического карбида кремния кубической модификации | ru |
dc.title.alternative | Термоанемометрія на основі полікристалічного карбіду кремнію кубичної модіфікації | uk |
dc.title.alternative | Thermoanemometery based on polycrystalline silicon carbide cubic modification | en |
dc.type | Article | uk |
thesis.degree.level | - | uk |
Файли
Контейнер файлів
1 - 1 з 1
Ліцензійна угода
1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 7.8 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: