Газорозрядні системи з вторинними емітерами для електронної апаратури

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКузьмичєв, Анатолій Іванович
dc.date.accessioned2018-06-05T09:40:39Z
dc.date.available2018-06-05T09:40:39Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractenThe dissertation is devoted to the scientific and applied problem of development of scientific and technical basics of construction and practical use of gas-discharge systems on the basis of secondary emitters of particles for switching, technological and biomedical apparatus with improved characteristics. The theoretical model of gas discharge systems based on secondary emitters for the strong field mode at low pressures has been improved due to the consideration, in addition to gas ionization by cathode electrons and particles formed in the inter-electrode gap, ionization of particles reflected from both positive and negative electrodes, which improved the analysis and modeling of the physical mechanism of gas discharge with secondary emitters and ensured the agreement of the theory with experiment. On the basis of the system with a secondary emission cathode, using the super-dense glow discharge of magnetron type, a high-voltage opening switch-breaker of current with a cold cathode has been developed and implemented. Pulsed thermionic and magnetron apparatus for deposition of coatings and thin films based on gas-discharge systems with solid state and plasma secondary emitters have been created and investigated, which allowed to realize new promising technologies of constructing surface structures for microelectronics, optics and machine building. On the basis of the streamerless multi-corona atmospheric pressure discharge with the secondary emission cathode, ozone biomedical equipment was developed and implemented, which provided clinical research and successful application of ozonetherapeutic procedures, as well as successful biological experiments with the use of ozone.uk
dc.description.abstractruВ диссертации решена научно-прикладная проблема разработки научных и технических основ построения и практического использования газоразрядных систем на основе вторичных эмиттеров частиц для коммутирующей, технологической и биомедицинской аппаратуры с улучшенными показателями. Усовершенствована теоретическая модель газоразрядных систем на основе вторичных эмиттеров для режима сильного поля при низких давлениях благодаря учету дополнительно к ионизации газа катодными электронами и частицами, образовавшимися в межэлектродном промежутке, ионизации частицами, отражёнными как от положительного, так и отрицательного электродов, что улучшило анализ и моделирование физического механизма газового разряда с вторичными эмиттерами и обеспечило более полное согласование теории с экспериментом. На базе системы с вторично-эмиссионным катодом, которая использует сверхплотный тлеющий разряд магнетронного типа, разработан и реализован высоковольтный коммутатор-прерыватель тока с холодным катодом. Созданы и исследованы на базе газоразрядных систем с твердотельными и плазменными вторичными эмиттерами импульсные термоионные и магнетронные устройства для осаждения покрытий и тонких пленок. Это позволило реализовать новые перспективные технологии конструирования поверхностных структур для микроэлектроники, оптики и машиностроения. На базе бесстримерного мульти-коронного разряда атмосферного давления с вторично-эмиссионным катодом разработана и реализована озоновая биомедицинская аппаратура. Это обеспечило проведение клинических исследований и успешные применения озонотерапевтических процедур, а также успешные биологические эксперименты с применением озона.uk
dc.description.abstractukВ дисертації розв’язано науково-прикладну проблему розробки наукових і технічних основ побудови і практичного використання газорозрядних систем на основі вторинних емітерів частинок для комутуючої, технологічної та біомедичної апаратури з поліпшеними показниками. Удосконалено теоретичну модель газорозрядних систем на основі вторинних емітерів для режиму сильного поля при низьких тисках завдяки урахуванню додатково до іонізації газу катодними електронами і частинками, утвореними в міжелектродному проміжку, іонізації частинками, відбитими як від позитивного, так і негативного електродів, що покращило аналізування і моделювання фізичного механізму газового розряду з вторинними емітерами і забезпечило більш повне узгодження теорії з експериментом. На базі системи з вторинно-емісійним катодом, що використовує надщільний тліючий розряд магнетронного типу, розроблено і реалізовано високовольтний комутатор-переривник струму з холодним катодом, Створені та досліджені на базі газорозрядних систем з твердотільними і плазмовими вторинними емітерами імпульсні магнетронні і термоіонні пристрої для осадження покриттів і тонких плівок, що дозволило реалізувати нові перспективні технології конструювання поверхневих структур для мікроелектроніки, оптики і машинобудування. На базі безстримерного мульти-коронного розряду атмосферного тиску з вторинно-емісійним катодом розроблено і реалізовано озонову біомедичну апаратуру, що забезпечило проведення клінічних досліджень і успішні застосування озонотерапевтичних процедур, а також успішні біологічні експерименти із застосуванням озону.uk
dc.format.page47 с.uk
dc.identifier.citationКузьмичєв А.І. Газорозрядні системи з вторинними емітерами для електронної апаратури : автореф. ... д-ра техн. наук : 05.27.02 – вакуумна, плазмова та квантова електроніка / Кузьмичєв Анатолій Іванович. – Київ, 2018. – 47 с.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/23239
dc.language.isoukuk
dc.publisher.placeКиївuk
dc.subjectтліючий розрядuk
dc.subjectдуговий розрядuk
dc.subjectмагнетронний розрядuk
dc.subjectімпульсний розрядuk
dc.subjectбезстримерний коронний розрядuk
dc.subjectгазорозрядна системаuk
dc.subjectвторинний емітерuk
dc.subjectплазмовий емітерuk
dc.subjectімпульсний модуляторuk
dc.subjectмагнетронне розпиленняuk
dc.subjectтермоіонне осадженняuk
dc.subjectозонотерапіяuk
dc.subjectбактерицидний ефектuk
dc.subjectglow dischargeuk
dc.subjectarc dischargeuk
dc.subjectmagnetron dischargeuk
dc.subjectpulse dischargeuk
dc.subjectstreamerless corona dischargeuk
dc.subjectgas discharge systemuk
dc.subjectsecondary emitteruk
dc.subjectplasma emitteruk
dc.subjectpulse modulatoruk
dc.subjectmagnetron sputteringuk
dc.subjectthermionic depositionuk
dc.subjectozone-therapyuk
dc.subjectbactericidal effectuk
dc.subjectтлеющий разрядuk
dc.subjectдуговой разрядuk
dc.subjectмагнетронный разрядuk
dc.subjectимпульсный разрядuk
dc.subjectбесстримерный коронный разрядuk
dc.subjectгазоразрядная системаuk
dc.subjectвторичный эмиттерuk
dc.subjectплазменный эмиттерuk
dc.subjectимпульсный модуляторuk
dc.subjectмагнетронное распылениеuk
dc.subjectтермоионное осаждениеuk
dc.subjectозонотерапияuk
dc.subjectбактерицидный эффектuk
dc.subject.udc537.523+537.525+537.533+537.534]:621.387](043.3)uk
dc.titleГазорозрядні системи з вторинними емітерами для електронної апаратуриuk
dc.typeThesisuk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Kuzmichev_aref.pdf
Розмір:
3.22 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
7.74 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Автореферати (ЕПП)
Автореферати (вільний доступ)