Розробка та створення високочастотного твердотільного дефлектора на основі технології МЕМС для систем лазерної хірургії і терапії
Анотація
Об’єкт дослідження – технологія дефлектора на основі твердотільних плівкових
електромеханічних систем зі збудженням об’ємних резонансних механічних коливань.
Мета роботи: розробка пристрою високочастотного сканування лазерного променя
для застосування в медицині при збудженні зсувних резонансних коливань в
п’єзоелектричному елементі МЕМС. Розробка призначена для відпрацювання конструкції
та технології п’єзоелектричного актюатора - високочастотного твердотільного дефлектора
на основі технології МЕМС. Розроблена математична модель твердотільного
електромеханічного елемента із збудженням коливань в шарі п'єзоелектричного
матеріалу. Розроблений технологічний маршрут виготовлення тонкоплівкового нітриду
алюмінія на основі метода магнетронного реактивного розпилення на постійному струмі.
Отримані при виконанні роботи конструкції п'єзоелектричних високочастотних плівкових
елементів твердотільного дефлектора мають менші розміри, ширший діапазон робочих
частот та нижчу вартість. Результати рекомендовано використовувати при розробці
твердотільних резонаторів і актюаторів мікроелектромеханічних систем.
Розроблений твердотільний дефлектор на основі технології
мікроелектромеханічної системи (МЕМС) можна використовувати для відхилення
лазерного променя в системах управління (закалювання матеріалу за рахунок обробки
поверхні лазерним випромінюванням, системи медичного застосування, інші) та
вимірювання фізичних параметрів (безконтактне вимірювання лінійних розмірів,
екологічний моніторинг, інші). Окремі технологічні підходи можна використовувати при
розробці твердотільних резонаторів і актюаторів мікроелектромеханічних систем в
сучасному приладобудуванні, особливо мікроелектронному, при мініатюризації
електронних компонентів.
Опис
Ключові слова
діелектрик, п'єзоелектрик, нітрид алюмінія, резонатор, структура, електромеханічні характеристики, актюатор, керування, магнетронне реактивне розпилення
Бібліографічний опис
Розробка та створення високочастотного твердотільного дефлектора на основі технології МЕМС для систем лазерної хірургії і терапії : звіт про НДР (заключ.) / НТУУ "КПІ" ; кер. роб. В. Жуйков. - К., 2010. - 132 л. + CD-ROM. - Д/б №2247-п