Магістерські роботи (МЕ)
Постійне посилання зібрання
Переглянути
Перегляд Магістерські роботи (МЕ) за Автор "Васильєв, Андрій Олегович"
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Результатів на сторінці
Налаштування сортування
Документ Відкритий доступ Метод прогнозування виходу придатних інтегральних мікросхем(2018) Васильєв, Андрій Олегович; Заворотний, Віктор ФедоровичЗменшення технологічного процесу, збільшення кількості транзисторів та металевих міжз'єднань в високоінтегрованих мікросхемах у відповідності з законом Мура призводить до збільшення кількості параметрів, які необхідно контролювати. Це в свою чергу призводить до генерації великої кількості вимірюваних даних, обробка і аналіз яких є ключем до оптимізації і контролю технологічного процесу. Контроль виходу придатних є надзвичайно важливою частиною мікроелектронної технології, оскільки від цього залежить як прямий економічний зиск від виробництва продукту, так і інші важливі економічні показники, такі як час для виходу на ринок та час валідації. Предметом дослідження даної роботи є розробка спеціального програмного забезпечення для автоматичного моніторингу стану процесу в реальному часі. В роботі описано можливості типового промислового обладнання для проведення тестування мікросхем та їх використання.