Магістерські роботи (ФМТО)

Постійне посилання зібрання

https://ela.kpi.ua/handle/123456789/43863
У зібранні розміщено магістерські дисертації на здобуття ступеня магістра.

Переглянути

Перегляд Магістерські роботи (ФМТО) за Автор "Волошко, Світлана Михайлівна"

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
  • Ескіз
    ДокументВідкритий доступ
    Вплив атмосфери відпалу на термічну стабільність нанорозмірної плівкової системи Ni/Cu/V
    (КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2022-12) Лозова, Анна Василівна; Волошко, Світлана Михайлівна
    Проаналізовано особливості структурно-фазових перетворень, дифузійного масопереносу та модифікації поверхні під час термічної обробки до температури 550 °С плівкових композицій Ni/Cu/V/Si(100) з товщиною шарів 25 нм в нейтральному середовищі (Ar) в порівнянні з відпалом у вакуумі (10-3 Па) за допомогою комплексу сучасних фізичних методів дослідження. Встановлено, що у температурному інтервалі 300 – 500 °С атоми Cu на початкових етапах відпалу дифундують границями зерен Ni, а атоми Ni – в об’єм зерен Cu, що зумовлює формування двох твердих розчинів на основі Cu з різною концентрацією Ni не залежно від атмосфери відпалу. Показано, що вакуумний відпал у порівнянні з відпалом у середовищі Ar дозволяє зменшити на 100 °C температуру утворення твердого розчину заміщення на основі Cu і зменшує концентрацію Ni в цьому твердому розчині з 23 ат.% до 5 ат.%. Доведено, що адгезійний шар V запобігає змішуванню атомів Cu та Ni з підкладкою кремнію та запобігає утворенню силіцидів за температур нижчих 400 °C під час відпалу в середовищі аргону. Подальше підвищення температури відпалу обумовлює дифузію атомів V до зовнішньої поверхні з його сегрегацією в приповерхневій області. Визначено, що приповерхневий шар Ni запобігає окисненню провідного шару Cu у температурному інтервалі 300 – 500 °С в обох середовищах термічної обробки. Рекомендовано для підвищення термічної стабільності тришарової нанорозмірної системи Ni/Cu/V/Si(100) застосовувати відпал у вакуумі замість відпалу в нейтральному середовищі. Роботу виконано в рамках міжнародного проєкту СРДФ "Високоефективні багатошарові тонкоплівкові металеві контакти для сонячних елементів нового покоління" з Каліфорнійським університетом UCLA в Лос-Анджелесі.