Наукові вісті НТУУ «КПІ»: науково-технічний журнал, № 3(65)

Постійне посилання зібрання

https://ela.kpi.ua/handle/123456789/35772

Переглянути

Зараз показуємо 1 - 1 з 1

Відкритий доступ
Вплив термічної обробки на фазоутворення в багатошаровій плівковій композиції [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/ Si (001) та її оптичні властивості
(НТУУ «КПІ», 2009) Макогон, Ю. М.; Кудрявцев, Ю. В.; Павлова, О. П.; Сидоренко, С. І.; Вербицька, Т. І.