Вплив термічної обробки на фазоутворення в багатошаровій плівковій композиції [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/ Si (001) та її оптичні властивості
Вантажиться...
Дата
2009
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУУ «КПІ»
Анотація
Опис
Ключові слова
Бібліографічний опис
Вплив термічної обробки на фазоутворення в багатошаровій плівковій композиції [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/ Si (001) та її оптичні властивості / Ю. М. Макогон, Ю. В. Кудрявцев, О. П. Павлова, С. І. Сидоренко, Т. І. Вербицька // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2009. – № 3(65). – С. 35–41. – Бібліогр.: 20 назв.