(КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2021) Аксьонова, Ольга Володимирівна; Лінючева, Ольга Володимирівна
В магістерській дисертації проведено літературний пошук по створенню омічних контактів метал-напівпровідник, дослідженню процесів хімічного травлення у плавиковій та нітратній кислоті, фотоелектричні властивості напівпровідників. Створено електрохімічну комірку, отримано електрод з контактом метал-напівпровідник. Отримані циклічні вольт-амперні характеристики у розчинах плавикової та нітратної кислоти різних концентрацій і за різної інтенсивності освітлення. Методом скануючої електронної мікроскопії встановлено структуру кремнію після травлення у розчині. Показано вплив освітлення на інтенсивність травлення у розчинах. Визначено вплив реверсивного режиму подачі напруги на процес травлення у розчині, що містить плавикову і нітратну кислоту. Зроблено висновки про природу протікаючих реакцій на електродах. Визначено оптимальний режим травлення, необхідну концентрацію компонентів і ступеню освітленості в залежності від необхідного результату.