(КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2024) Сторчака, Максим Романович; Орлов, Андрій Костянтинович
Основною метою роботи є встановлення закономірностей зміни структури, фазового складу та електрофізичних властивостей нанорозмірних плівкових композицій системи Ni-Ti з товщиною кожного шару 30 нм за різної швидкості нагріву (1, 3, та 6 °С/с) до 400 °С у вакуумі (10-4 Па). Для виконання поставлених завдань було використано методи: магнетронне осадження тонкоплівкових композицій Ni/Ti, термічна обробка тонкоплівкових композицій у вакуумі, рентгеноструктурний фазовий аналіз, чотирьохзондова резистометрія.