Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні
Дата
2014
Автори
Білокінь, Світлана Олександрівна
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут"