Распределение температуры при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского
Loading...
Date
2008
Authors
Advisor
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
ЧДТУ
Abstract
Description
Keywords
Citation
Воляр, Р. Н. Распределение температуры при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского / Р. Н. Воляр, С. Г. Егоров, И. Ф. Червоный // Комп'ютерне моделювання в хімії та технологіях : тези доповідей Першої науково-практичної конференції з міжнародною участю, 12-16 травня 2008 року, м. Черкаси. – Черкаси : ЧДТУ, 2008. – С. 231-232.