Распределение температуры при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского

Abstract

Description

Keywords

Citation

Воляр, Р. Н. Распределение температуры при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского / Р. Н. Воляр, С. Г. Егоров, И. Ф. Червоный // Комп'ютерне моделювання в хімії та технологіях : тези доповідей Першої науково-практичної конференції з міжнародною участю, 12-16 травня 2008 року, м. Черкаси. – Черкаси : ЧДТУ, 2008. – С. 231-232.

DOI