Розвиток методів та засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю характеристик компонентів мікросистемної техніки
Вантажиться...
Дата
2019
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Робота виконана в Черкаському державному технологічному університеті Міністерства
освіти і науки України на кафедрі фізики.
Ключові слова
неруйнівний контроль, атомно-силова мікроскопія, кліматичні фактори, робочі параметри, мікросистемна техніка, точність, чутливість, відтворюваність, non-destructive control, atomic-force microscopy, climatic factors, operation parameters, microsystem technology, accuracy, sensitivity, reproducibility, неразрушающий контроль, атомно-силовая микроскопия, климатические факторы, рабочие параметры, микросистемная техника, точность, чувствительность, воспроизводимость
Бібліографічний опис
Бондаренко, М. О. Розвиток методів та засобів атомно-силової мікроскопії для неруйнівного контролю характеристик компонентів мікросистемної техніки : автореф. дис. … д-ра техн. наук : 05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовин / Бондаренко Максим Олексійович. – Київ, 2019. – 44 с.