Методичний посібник до вивчення курсу «Вакуумна та плазмова електроніка». Частина 1. Фізичні основи генерації плазми

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2015

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

НТУУ «КПІ»

Анотація

Опис

Ключові слова

газовий розряд, заряджена частинка, плазма, електричний пробій, струм у газі, тліючий розряд, дуговий розряд, іскровий розряд, коронний розряд, високочастотний розряд, поглинання газу, катодне розпилення

Бібліографічний опис

Методичний посібник до вивчення курсу «Вакуумна та плазмова електроніка». Частина 1. Фізичні основи генерації плазми [Електронний ресурс] / Л. М. Шмирьова, Н. В. Слободян ; НТУУ «КПІ». – Електронні текстові дані (1 файл: 2,2 Мбайт). – Київ : НТУУ «КПІ», 2015. – 102 с. – Назва з екрана.

DOI