Моделирование явления инверсии градиента профиля алюминия при жидкофазной эпитаксии гетероструктур GaAl(P,As,Sb)

Loading...
Thumbnail Image

Date

2019

Authors

Домбругов, Михаил Рэмович

Advisor

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

КПІ ім. Ігоря Сікорського

Abstract

Description

Keywords

жидкофазная эпитаксия, принудительное охлаждение, твердые растворы А3В5, Ga-Al-P, Ga-Al-As, Ga-Al-Sb, инверсная кривая, планарные волноводные структуры, рідиннофазна епітаксія, примусове охолодження, тверді розчини А3В5, інверсна крива, планарні хвилеводні структури, liquid phase epitaxy, forced cooling, solid solutions А3В5, inverse curve, planar waveguide structures

Citation

Домбругов, М. Р. Моделирование явления инверсии градиента профиля алюминия при жидкофазной эпитаксии гетероструктур GaAl(P,As,Sb) / Домбругов М. Р. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2019. – Т. 24, № 1(108). – С. 6–14. – Бібліогр.: 22 назв.