Моделирование явления инверсии градиента профиля алюминия при жидкофазной эпитаксии гетероструктур GaAl(P,As,Sb)
Loading...
Date
2019
Authors
Домбругов, Михаил Рэмович
Advisor
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Abstract
Description
Keywords
жидкофазная эпитаксия, принудительное охлаждение, твердые растворы А3В5, Ga-Al-P, Ga-Al-As, Ga-Al-Sb, инверсная кривая, планарные волноводные структуры, рідиннофазна епітаксія, примусове охолодження, тверді розчини А3В5, інверсна крива, планарні хвилеводні структури, liquid phase epitaxy, forced cooling, solid solutions А3В5, inverse curve, planar waveguide structures
Citation
Домбругов, М. Р. Моделирование явления инверсии градиента профиля алюминия при жидкофазной эпитаксии гетероструктур GaAl(P,As,Sb) / Домбругов М. Р. // Мікросистеми, Електроніка та Акустика : науково-технічний журнал. – 2019. – Т. 24, № 1(108). – С. 6–14. – Бібліогр.: 22 назв.