Фазоутворення у плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(100 нм)/SiO2(370нм) на монокристалічному кремнії орієнтації (001)

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2008

Науковий керівник

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

НТУУ «КПІ»

Анотація

Опис

Ключові слова

Бібліографічний опис

Фазоутворення у плівковій композиції Ti(200 нм)/Cu(200 нм)/Ti(100 нм)/SiO2(370нм) на монокристалічному кремнії орієнтації (001) / Ю. М. Макогон, С. І. Сидоренко, О. П. Павлова, Т. І. Вербицька // Наукові вісті НТУУ «КПІ» : науково-технічний журнал. – 2008. – № 4(60). – С. 104–107. – Бібліогр.: 8 назв.

DOI