The Formation of Surface Nanostructures on As-S-Ge Chalcogenide Film After E-Beam Exposure
Вантажиться...
Дата
2020
Автори
Revutska, L. O.
Shylenko, O. I.
Stronski, A. V.
Komanicky, V.
Bilanych, V. S.
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
chalcogenide thin films, electron beam irradiation, surface nanostructures, халькогенідні тонкі плівки, електронно-променевий запис, поверхневі наноструктури, тонкие халькогенидные пленки, электронно-лучевая запись, поверхностные наноструктуры
Бібліографічний опис
The Formation of Surface Nanostructures on As-S-Ge Chalcogenide Film After E-Beam Exposure / L. O. Revutska, O. I. Shylenko, A. V. Stronski, V. Komanicky, V. S. Bilanych // Наукові вісті КПІ : міжнародний науково-технічний журнал. – 2020. – № 1(128). – С. 48–53. – Бібліогр.: 23 назви.