Особенности электрических свойств слоев нитрида кремния SiNx, обогащенных кремнием, при различных стехиометриях для фотовольтаических применений

Abstract

Description

Keywords

солнечные батареи, нитрид кремния

Citation

Особенности электрических свойств слоев нитрида кремния SiNx, обогащенных кремнием, при различных стехиометриях для фотовольтаических применений / L. Boudjemila, B. Mahmoudi, K. Khenfer, В. Краснощеков, В. Давыдов, Ю. Рудь, Ф. Свитала, А. Черемисин // Матеріали XХI Міжнародної науково-практичної конференції «Екологія. Людина. Суспільство» (21-22 травня 2020 р., Київ, Україна). – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2020. – С. 118–119. – Бібліогр.: 3 назви.

DOI