Застосування трихвильової гетеродинної інтерферометрії для вимірювання товщини нанорозмірних шарів у процесі їх напилення
Вантажиться...
Дата
2022
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
Опис
Ключові слова
гетеродинна інтерферометрія, рефрактометрія, вимірювання товщини плівок, сенсори, heterodyne interferometry, refractometry, film thickness measurements, sensors
Бібліографічний опис
Лендєл, В. В. Застосування трихвильової гетеродинної інтерферометрії для вимірювання товщини нанорозмірних шарів у процесі їх напилення / Лендєл В. В., Степахно І. В., Яровой Л. К. // Вісник КПІ. Серія Приладобудування : збірник наукових праць. – 2022. – Вип. 63(1). – С. 39-45. – Бібліогр.: 14 назв.