Сенсор освітленості на основі кремнієвих нанониток
Вантажиться...
Дата
2020
Автори
Науковий керівник
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
КПІ ім. Ігоря Сікорського
Анотація
У статті розглянуто синтез кремнієвих нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення (МСХТ) у різних технологічних режимах. На основі отриманих зразків були синтезовані діодні сенсори освітленості, для яких було розраховано чутливість у фотодіодному (до 1,53 мА/лмВ) та фотогенераторному (304 мА/Вт)
режимах. На основі отриманих результатів були встановлені оптимальні технологічні режими синтезу кремнієвих
нанониток для використання їх в сенсорах освітленості. Найоптимальнішим з них виявився режим з часом проведення першого етапу МСХТ 40 c, часом проведення другого етапу 30 хв та об'ємом перекису водню на рівні 0,8 мл.
Опис
Ключові слова
метало-стимульоване хімічне травлення, сенсор освітленості, чутливість, metal-assisted chemical etching, light sensor, sensitivity
Бібліографічний опис
Скиба, І. В. Сенсор освітленості на основі кремнієвих нанониток / Скиба І. В. // Електронна та Акустична Інженерія : науково-технічний журнал. – 2020. – Т. 3, № 3. – С. 5-10. – Бібліогр.: 10 назв.