Исследование спектральных зависимостей коэффициента поглощения в тонких пленках гидрированного кремния методом постоянного фототока с модулированным возбуждением

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЕмельянов, А. В.
dc.contributor.authorКазанский, А. Г.
dc.contributor.authorКашкаров, П. К.
dc.contributor.authorЛаркин, С. Ю.
dc.contributor.authorНовиков, Е. И.
dc.contributor.authorФорш, П. А.
dc.contributor.authorХенкин, М. В.
dc.date.accessioned2013-08-12T13:05:44Z
dc.date.available2013-08-12T13:05:44Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractenSpectral dependences of absorption coefficient in thin films of amorphous hydrogenated silicon are investigated. Silicon films were obtained by decomposition of monosilane and hydrogen mixture under hydrogen portion, corresponding to conditions of the beginning of nanocrystalline phase formation in structure of films. A new modification of the constant photocurrent method, based on the modulation of the exciting light flux, is developed and used to measure the spectral dependence of the absorption coefficient. The effect of illumination of different duration on films absorption spectra, measured by the proposed method, is investigated. According to the study of a-Si:H films, obtained under conditions corresponding to the beginning of formation of the crystalline phase, we can assume the presence of silicon nanocrystals in structure of the films and nanocrystals influence on the optical properties of a-Si:H.uk
dc.description.abstractruИсследованы спектральные зависимости коэффициента поглощения в тонких пленках аморфного гидрированного кремния, полученных разложением смеси моносилана и водорода при относительной доле водорода в газовой смеси, соответствующей условиям начала формирования нанокристаллической фазы в структуре пленок. Для измерения спектральных зависимостей коэффициента поглощения предложен и использован модифицированный метод постоянного фототока, основанный на модуляции возбуждающего светового потока. Исследовано влияние освещения различной длительности на спектры поглощения пленок, измеренных предложенным методом. По результатам исследования пленок a-Si:H, полученных в условиях, соответствующих началу формирования кристаллической фазы, можно предположить наличие в структуре пленок нанокристаллов кремния, влияющих на оптические свойства a-Si:H.uk
dc.format.pagerangeС. 5-9uk
dc.identifier.citationИсследование спектральных зависимостей коэффициента поглощения в тонких пленках гидрированного кремния методом постоянного фототока с модулированным возбуждением / А. В. Емельянов, А. Г. Казанский, П. К. Кашкаров, С. Ю. Ларкин, Е. И. Новиков, П. А. Форш, М. В. Хенкин // Электроника и связь : научно-технический журнал. – 2012. – № 2(67). – С. 5–9. – Библиогр.: 8 назв.uk
dc.identifier.urihttps://ela.kpi.ua/handle/123456789/3459
dc.language.isoruuk
dc.publisherНТУУ "КПИ"uk
dc.publisher.placeКиевuk
dc.sourceЭлектроника и связь: научно-технический журналru
dc.source.nameЭлектроника и связь: научно-технический журналuk
dc.status.pubpublisheduk
dc.subjectпротокристаллический кремнийuk
dc.subjectмоносиланuk
dc.subjectкремниевый нанокристаллuk
dc.subjectрамановская спектроскопияuk
dc.subjectметод постоянного фототокаuk
dc.subjectфотопроводимостьuk
dc.subjectспектр поглощенияuk
dc.subject.udc535.341.08:621.315.592uk
dc.titleИсследование спектральных зависимостей коэффициента поглощения в тонких пленках гидрированного кремния методом постоянного фототока с модулированным возбуждениемuk
dc.typeArticleuk
thesis.degree.level-uk

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
01.pdf
Розмір:
373.27 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
1.71 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Электроника и связь: научно-технический журнал, № 2(67)